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Entdeckung des "Elektrischen Asymmetrie-Effekts" wird gewürdigt
EPS Plasma Physics Innovation Prize 2010 für Uwe Czarnetzki
Prof. Dr. Uwe Czarnetzki, Dekan der Fakultät für Physik und Astronomie der Ruhr-Universität Bochum, wird für die Entdeckung des "Elektrischen Asymmetrie-Effekts" von der Europäischen Physikalischen Gesellschaft (EPS) mit dem "Innovationspreis für Plasmaphysik" ausgezeichnet. Seine Entdeckung führte letztlich zu einem innovativen Verfahren zur Kontrolle von industriellen Plasmen. Das Anwendungsspektrum der aufgrund dieser Entdeckung entwickelten Technologie reicht von der Solarzellenproduktion über Oberflächenfunktionalisierung
bis zum Halbleiterätzen in der Mikroelektronik. Der mit 3.000 Euro dotierte Preis wird im Juni 2010 bei der EPS Konferenz verliehen.
Zwei neuartige Charakteristika
Der Elektrische Asymmetrie-Effekt wurde erstmals in symmetrischen kapazitiv gekoppelten Radiofrequenzentladungen bei der Überlagerung der Grundfrequenz (f = 13.56 MHz) mit einer geradzahligen Harmonischen (2f, 4f, etc.) untersucht. Die gezielte Erforschung der zugrundeliegenden Physik dieses Effektes und die aus diesem Verständnis erfolgte Optimierung führten schließlich zu einem innovativen Verfahren zur Kontrolle von industriellen Plasmen. Das neue Verfahren zeichnet sich vor allem durch zwei neuartige Charakteristika aus: Zum einen ist erstmals eine wirkliche unabhängige Regelung der beiden wichtigen Prozessparameter Ionenenergie und Ionenfluss möglich. Zum anderen ist das Verfahren vor allem anwendbar auf großflächige Entladungen, die für moderne industrielle Anwendungen bedeutsam sind. Das Verfahren ist über RUBITEC, die RUB-Verwertungsgesellschaft, patentiert und an der Umsetzung zur effizienteren Produktion von Solarzellen wird mit einem industriellen Partner (Leybold Optics GmbH) gearbeitet. An der Erforschung waren neben Mitgliedern des Lehrstuhls für Plasma- und Atomphysik, insbesondere Dr. Brian Heil, auch Kollegen aus der Elektrotechnik (Prof. Dr. Ralf Peter Brinkmann, Dr. habil. Thomas Mussenbrock) sowie von der Hungarian Academy of Science in Budapest (Dr. Zoltan Donko) beteiligt.
Zur Person
Uwe Czarnetzki, 1959 in Recklinghausen geboren, studierte an der Universität Essen, wo er auch promoviert wurde. Nach einem einjährigen Forschungsaufenthalt in Fukuoka (Japan) hat er 1999 sich in Essen habilitiert. 2001 wurde er auf den Lehrstuhl für Plasma- und Atomphysik an der Ruhr-Universität Bochum berufen. Seit 2008 ist er Dekan der Fakultät für Physik und Astronomie.
Publikationen
Ausgewählte Publikationen zu dem "Elektrischen Asymmetrie-Effekt": J. Phys. D: Appl. Phys. 41 (2008) 165202, 42 (2009) 025205, 42 (2009) 092005
Weitere Informationen
Prof. Dr. Uwe Czarnetzki, Lehrstuhl Plasma- und Atomphysik, Ruhr-Universität, 44780 Bochum, Tel. 0234/32-27218, E-Mail: uwe.czarnetzki@ep5.rub.de
Redaktion: Meike Drießen
Prof. Dr. Uwe Czarnetzki
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Merkmale dieser Pressemitteilung:
Physik / Astronomie
überregional
Personalia
Deutsch
Prof. Dr. Uwe Czarnetzki
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