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Veranstaltung

05.10.2005 - 05.10.2005 | Göttingen

VUV und XUV - Neue Chancen für die Vermessung von Mikrosystemen

Seit einigen Jahren unternehmen Firmen und Forschungseinrichtungen große Anstrengungen zur wirtschaftlichen Nutzbarmachung von Strahlung mit extrem kurzen Wellenlängen (VUV, XUV). Das Hauptanwendungsgebiet wird in der Fertigung von Nanoelektronik gesehen.

Gleichzeitig zeichnen sich aber weitere Anwendungspotentiale ab. Das betrifft beispielsweise die Messtechnik. Kurze Wellenlängen eröffnen die Möglichkeit, die physikalischen Grenzen optischer Messsysteme insbesondere bei der Vermessung von kleinsten Strukturen signifikant nach unten zu verschieben.

Einladung:
http://www.photonicnet.de/Members/pn/VK/2005_10/Einladung.pdf

Tagesordnung:
http://www.photonicnet.de/Members/pn/VK/2005_10/Tagesordnung.pdf

Hinweise zur Teilnahme:
Die Teilnahme ist kostenfrei.

Der Workshop wird organisiert von der Landesinitiative Mikrosystemtechnik Niedersachsen (MST) in Kooperation mit der PhotonicNet GmbH.

Termin:

05.10.2005 10:30 - 17:00

Veranstaltungsort:

Laser Laboratorium Göttingen
Hans-Adolf-Krebs-Weg 1
Seminarraum (1. Etage)
37077 Göttingen
Niedersachsen
Deutschland

Zielgruppe:

Wirtschaftsvertreter, Wissenschaftler

E-Mail-Adresse:

hartmann@photonicnet.de

Relevanz:

überregional

Sachgebiete:

Maschinenbau, Mathematik, Physik / Astronomie, Verkehr / Transport, Werkstoffwissenschaften, Wirtschaft

Arten:

Eintrag:

11.08.2005

Absender:

Dipl. Biol. Anja Nieselt-Achilles

Abteilung:

Marketing und Kommunikation

PhotonicNet GmbH Kompetenznetz Optische Technologien

Veranstaltung ist kostenlos:

ja

Textsprache:

Deutsch

URL dieser Veranstaltung: http://idw-online.de/de/event14568

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