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Transparente und weiche Resistmaterialien auf Polymerbasis werden nicht nur zur Strukturierung von Mikrosystemen, sondern auch direkt als Material für Mikrosysteme eingesetzt. Bei der dimensionellen Qualitätskontrolle treten bei derartigen Systemen, die aus unterschiedlichen Materialien bestehen, unvermeidbare systematische Messabweichungen auf. Bei Tastschnittmessungen an Polymerstrukturen sind antastkraft- und verfahrgeschwindigkeitsabhängige Deformationen die Hauptursache für Messabweichungen. Bei optischen Messungen führen die Transparenz der Schichten, die Absorption dünner Schichten sowie Phasensprünge an Ober- und Grenzflächen zu systematischen Messabweichungen.
Die TU Braunschweig und die PTB haben mit Partnern, unterstützt durch das BMWi-Verbundprojekt MesMik, Untersuchungen zu dieser Thematik durchgeführt und beabsichtigen, die Ergebnisse in eine Norm einfließen lassen. Im DIN-Fachausschuss "Fertigungsmittel für Mikrosysteme" ist ein entsprechender Normentwurf unter der Nummer 32567 „Fertigungsmittel für Mikrosysteme – Ermittlung von Materialeinflüssen auf die Messunsicherheit in der optischen und taktilen dimensionellen Messtechnik“ erarbeitet worden.
Die wesentlichen Forschungsergebnisse, die umgesetzt werden sollen, sind der Nachweis antastkraft- und verfahrgeschwindigkeitsabhängiger Effekte beim taktilen Messen inhomogener Systeme, ein Verfahren zur Generierung von Referenzwerten mit Hilfe taktiler Messungen bei sehr kleinen Antastdrücken und die Modellierung der systematischen Abweichungen optischer und taktiler Oberflächenmessgeräte.
Die Norm soll Anwendern Hinweise darüber geben, bei welchen dimensionellen Messungen inhomogener Oberflächen systematische Abweichungen auftreten können, sie beschreibt beispielhafte Prüfkörper, die zur Untersuchung dieser Effekte eingesetzt werden können, und liefert Korrekturverfahren für Tastschnittgeräte und für optische Oberflächenmessgeräte.
Am 17. November 2011 findet zu dieser Thematik das 263. PTB-Seminar mit dem Titel „Topographische Dickenmessung transparenter Polymerschichten“ statt. Die Vorträge werden durch Berichte aus Projekten auf nationaler und internationaler Ebene ergänzt, die sich mit thematisch ähnlichen Fragestellungen befassen.
Die Veranstaltung endet mit einem Forum „Messtechnische Herausforderungen“, das Teilnehmern die Möglichkeit eröffnen soll, mit Ansprechpartnern für Messaufgaben, bei denen nicht kooperative Oberflächen zu Problemen führen, erste Gespräche über Problematiken und Lösungsmöglichkeiten zu führen.
Programm:
9:00 Uhr
Registrierung
9:45 Uhr
Begrüßung
L. Koenders (Leiter des Fachbereichs Oberflächenmesstechnik der PTB)
10:00 Uhr
Normprojekt DIN 32567 „Fertigungsmittel für Mikrosysteme – Ermittlung von Materialeinflüssen auf die Messunsicherheit in der optischen und taktilen dimensionellen Messtechnik“
U. Gengenbach (KIT, Karlsruhe)
Taktile Messverfahren:
10:30 Uhr
Tastschnittmessungen der Schichtdicke weicher Materialien auf harten Substraten
Z. Li (PTB, Braunschweig)
11:15 Uhr
Finite Element Modellierung von Tastschnittmessungen
T. Peschel (IOF, Jena)
12:00 Uhr
Verfahren zur Bestimmung von Tastspitzenradius und Antastkraft bei Tastschnittgeräten und Rastersondenmikroskopen
U. Brand (PTB, Braunschweig)
12:45 Uhr
Mittagessen
13:45 Uhr
Modellierung von Ritzversuchen
N. Schwarzer (SIO, Ummanz)
Optische Messverfahren:
14:30 Uhr
Optische Messungen der Schichtdicke transparenter Materialien
R. Tutsch (TU Braunschweig)
15:15 Uhr
Dicken- und Brechzahlbestimmung transparenter Schichten mittels Ellipsometrie
A. Hertwig (BAM, Berlin) und I. Busch (PTB, Braunschweig)
Thematisch verwandte Projekte:
16:00 Uhr
BMBF-Projekt Optassyst „Anwenderorientierte Assistenzsysteme zum sicheren Einsatz optischer Abstandssensoren“
A. Beutler (Mahr GmbH, Göttingen)
16:15 Uhr
EMRP-Projekt MeProVisc „Dynamical mechanical properties and long-term deformation behaviour of viscous materials“
Z. Li (PTB, Braunschweig)
Forum Messtechnische Herausforderungen:
16:30 Uhr
Teilnehmer können Proben „nicht kooperativer Oberflächen“ mitbringen und auftretende Messprobleme vorstellen.
17:00 Uhr
Ende
Hinweise zur Teilnahme:
Teilnahmegebühr: 130,- Euro
Termin:
17.11.2011 09:00 - 17:00
Veranstaltungsort:
Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Bundesallee 100
Seminarzentrum am Kohlrausch-Bau
Seminarraum A
38116 Braunschweig
Niedersachsen
Deutschland
Zielgruppe:
Wirtschaftsvertreter, Wissenschaftler
E-Mail-Adresse:
Relevanz:
überregional
Sachgebiete:
Chemie, Physik / Astronomie, Werkstoffwissenschaften
Arten:
Seminar / Workshop / Diskussion
Eintrag:
26.10.2011
Absender:
Dipl.-Journ. Erika Schow
Abteilung:
Presse- und Öffentlichkeitsarbeit
Veranstaltung ist kostenlos:
nein
Textsprache:
Deutsch
URL dieser Veranstaltung: http://idw-online.de/de/event37392
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