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Veranstaltung


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18.03.2009 - 19.03.2009 | Braunschweig

PTB Workshop on Scatterometry and Ellipsometry on Structured Surfaces

Contents:
- dimensional metrology on structured surfaces using scatterometry and related methods
- applications in semiconductor industry and beyond
- discussion of basic principles, modeling, methods

The workshop is intended for suppliers, operators, fundamental and applied researchers

Hinweise zur Teilnahme:
Registration fees: 250,00 EUR
Early registration (receipt of fees until 31 December, 2008): 200,00 EUR

Registration deadline: 15 February (receipt of fees)

Further information and online registration:
http://www.scatterometry-ptb.de/

Termin:

18.03.2009 ab 09:00 - 19.03.2009 18:00

Veranstaltungsort:

Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
Bundesallee 100
38116 Braunschweig
Niedersachsen
Deutschland

Zielgruppe:

Wissenschaftler

E-Mail-Adresse:

Relevanz:

international

Sachgebiete:

Informationstechnik, Physik / Astronomie

Arten:

Eintrag:

22.12.2008

Absender:

Dipl.-Journ. Erika Schow

Abteilung:

Presse- und Öffentlichkeitsarbeit

Veranstaltung ist kostenlos:

nein

Textsprache:

Englisch

URL dieser Veranstaltung: http://idw-online.de/de/event25760


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