3 Forschungsinstitute und 8 Industrieunternehmen waren im Rahmen des Projektes an der Entwicklung und Qualifizierung eines EUV-Spektralphotometers beteiligt. Um die Ergebnisse einer breiten Öffentlichkeit aus Forschung und Industrie vorzustellen, laden PhotonicNet und das Laser Zentrum Hannover am 14. März 2007 zu einem Statusseminar ein. Neben Fachvorträgen zur Entwicklung von Laborstrahlquellen für extreme UV-Strahlung sind ferner praktische Vorführungen und Diskussionsforen über Einsatzgebiete der Messverfahren auch außerhalb der EUV-Halbleiterlithographie geplant.
Hinweise zur Teilnahme:
Teilnehmergebühr: 60 € (zzgl. 19 % MwSt.).
Für Partner des PhotonicNet ist ein Teilnehmer kostenlos.
Termin:
14.03.2007 10:00 - 17:00
Veranstaltungsort:
Laser Zentrum Hannover e.V.
Hollerithallee 8
30419 Hannover
Niedersachsen
Deutschland
Zielgruppe:
Wirtschaftsvertreter, Wissenschaftler
E-Mail-Adresse:
Relevanz:
überregional
Sachgebiete:
Maschinenbau, Mathematik, Physik / Astronomie, Werkstoffwissenschaften, Wirtschaft
Arten:
Eintrag:
09.02.2007
Absender:
Dipl. Biol. Anja Nieselt-Achilles
Abteilung:
Geschäftsführung
Veranstaltung ist kostenlos:
nein
Textsprache:
Deutsch
URL dieser Veranstaltung: http://idw-online.de/de/event19478
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