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Event



10/05/2005 - 10/05/2005 | Göttingen

VUV und XUV - Neue Chancen für die Vermessung von Mikrosystemen

Seit einigen Jahren unternehmen Firmen und Forschungseinrichtungen große Anstrengungen zur wirtschaftlichen Nutzbarmachung von Strahlung mit extrem kurzen Wellenlängen (VUV, XUV). Das Hauptanwendungsgebiet wird in der Fertigung von Nanoelektronik gesehen.

Gleichzeitig zeichnen sich aber weitere Anwendungspotentiale ab. Das betrifft beispielsweise die Messtechnik. Kurze Wellenlängen eröffnen die Möglichkeit, die physikalischen Grenzen optischer Messsysteme insbesondere bei der Vermessung von kleinsten Strukturen signifikant nach unten zu verschieben.

Einladung:
http://www.photonicnet.de/Members/pn/VK/2005_10/Einladung.pdf

Tagesordnung:
http://www.photonicnet.de/Members/pn/VK/2005_10/Tagesordnung.pdf

Information on participating / attending:
Die Teilnahme ist kostenfrei.

Der Workshop wird organisiert von der Landesinitiative Mikrosystemtechnik Niedersachsen (MST) in Kooperation mit der PhotonicNet GmbH.

Date:

10/05/2005 10:30 - 10/05/2005 17:00

Event venue:

Laser Laboratorium Göttingen
Hans-Adolf-Krebs-Weg 1
Seminarraum (1. Etage)
37077 Göttingen
Niedersachsen
Germany

Target group:

Business and commerce, Scientists and scholars

Email address:

Relevance:

transregional, national

Subject areas:

Economics / business administration, Materials sciences, Mathematics, Mechanical engineering, Physics / astronomy, Traffic / transport

Types of events:

Entry:

08/11/2005

Sender/author:

Dipl. Biol. Anja Nieselt-Achilles

Department:

Marketing und Kommunikation

Event is free:

yes

Language of the text:

German

URL of this event: http://idw-online.de/en/event14568


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