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04/05/2005 09:09

Optisches 3-D-Profilometer für Form und Rauheit - NewView

Regina Fischer M.A. Unternehmenskommunikation
Fraunhofer Vision

    Das NewView ist ein optisches 3-D-Profilometer für verschiedenste Anwendungen in der modernen Messtechnik. Durch den flexiblen Aufbau ist es sowohl in der Forschung und Entwicklung, als auch in der produktionsnahen Umgebung einsetzbar. Ob Präzisionsbauteile von Automobilzulieferern, Optiken in der Halbleiterindustrie oder Komponenten in der Mikrosystemtechnik - mit dem NewView sind sie einfach und schnell zu messen.

    Hohe Anforderungen in der Fertigung immer kleinerer Bauteile stellen auch für die moderne Messtechnik eine große Herausforderung dar. Mit dem optischen Profilometer von Zygo wird die Oberfläche quantitativ erfasst und sofort dreidimensional auf dem Monitor dargestellt. Das Softwarepaket MetroPro analysiert die Oberflächen nach allen gängigen Rauheitsparametern, Stufenhöhen, Volumina etc. Ein spezielles Präparieren der Proben ist nicht notwendig.

    Das Gerät arbeitet nach dem Verfahren der Scanning White Light Interferometry (SWLI). Das von der Objektoberfläche reflektierte Licht interferiert hierbei mit dem Licht der Referenzfläche. Während der Messung wird das Objektiv in der Höhe (Z-Richtung) um eine vorher definierte Weglänge verfahren (gescannt). Dabei wandert der Interferenzfokus vertikal über die Oberfläche. Zusammen mit einer speziellen Datenauswertung FDA (Frequency Domain Analysis) erhält man bei diesem Verfahren eine hohe Anzahl von Messpunkten mit einer Höhenauflösung von 0,1 Nanometern. Die Messflächen können sowohl poliert als auch rau sein. Ein aufwändiges Kalibrieren ist nicht notwendig.

    Zusammenfassung der wesentlichen Eigenschaften
    · Kurze Messzeiten durch Scan-Raten bis zu 30 Mikrometern pro Sekunde
    · Berührungsloses Messen bis zu einer Stufenhöhe von 15 Millimetern
    · Patentierte Frequency Domain Analyse (FDA) mit einer vertikalen Auflösung von 0,1 Nanometern auf allen Oberflächen
    · Bedienung mit der Analysesoftware MetroProtm unter Windows XP
    · Anzeige aller Oberflächenparameter wie Form, Volumen, Stufenhöhe, Rauheit, Welligkeit und Traganteilskurven
    · hohe Serviceverfügbarkeit

    Das System wird im Rahmen der Sonderschau "Berührungslose Messtechnik" anlässlich der Control 2005 in Sinsheim, 26. bis 29. April, in Halle 7, Stand 7128, vorgestellt. Die Sonderschau will einen Beitrag zur Verbreiterung der Akzeptanz berührungsloser Messtechnik leisten, indem an einigen ausgewählten Exponaten die Konstruktionsprinzipien, Eigenheiten und Grenzen der neuen Messmöglichkeiten demonstriert werden. Die Sonderschau findet mit Unterstützung der P. E. Schall GmbH, den Mitgliedern des Control-Messebeirats und der Fraunhofer-Allianz Vision statt.

    Fachliche Anfragen:
    ZygoLOT GmbH
    Peter Kuschnir
    Telefon 0 61 51/88 06-26
    E-Mail: kuschnir@zygolot.de

    Presse-Anfragen:
    Fraunhofer-Allianz Vision
    Regina Fischer, M.A.
    Telefon 0 91 31/7 76-5 30
    E-Mail: vision@fraunhofer.de

    Die Fraunhofer-Allianz Vision ist ein Zusammenschluss von Fraunhofer-Instituten zu den Themen Bildverarbeitung, optische Inspektion und 3-D-Messtechnik, Röntgenmesstechnik und zerstörungsfreie Prüfung.


    More information:

    http://www.vision.fraunhofer.de/de/4/projekte/236.html
    http://www.vision.fraunhofer.de/de/5/presse/74.html Text/Bild-Download für Presse


    Images

    NewView Aufnahme
    NewView Aufnahme
    Source: Quelle: ZygoLOT GmbH

    NewView Profilometer
    NewView Profilometer
    Source: Quelle: ZygoLOT GmbH


    Criteria of this press release:
    Electrical engineering, Energy, Information technology, Materials sciences, Mathematics, Mechanical engineering, Physics / astronomy
    transregional, national
    Research results, Transfer of Science or Research
    German


     

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