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Die zunehmende Miniaturisierung in der Mikrosystemtechnik, Elektronik und in weiteren verwandten Industriebereichen erzeugt einen steigenden Bedarf an Lasersystemen mit immer kürzeren Wellenlängen im UV-Bereich. Unter anderem ist für die Qualität des Endproduktes auch die Verfügbarkeit hochwertiger optischer Komponenten im kurzwelligen Spektralbereich zwischen 120 und 200 nm wichtig. Dabei spielt die spektralphotometrische Charakterisierung von optischen Materialien und vergüteten Optiken eine wesentliche Rolle für deren Leistungsfähigkeit und letztendlich für die Optimierung des kompletten Lasersystemes.
Spektralphotometrische Meßverfahren zur Charakterisierung optischer Komponenten sind speziell im Bereich der Dünnschichttechnologie unverzichtbare Bestandteile der Qualitätssicherung. Entsprechende optische Systeme kommen unter anderem in der Lithographie und in der Mikromaterialbearbeitung zum Einsatz.
Im Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) wurde ein modulares Systemkonzept entwickelt, das die Messung der Transmission und Reflexion optischer Komponenten im Spektralbereich von 115 bis 300 nm mit hoher Genauigkeit ermöglicht. Die Justage, Kalibrierung und Messungen sind vollautomatisiert und erfolgen mittels PC. Die notwendigen Vakuumvorrichtungen (da unterhalb von 190 nm das Licht stark von Luftmolekülen absorbiert wird) sind integriert. Die Handhabung ist benutzerfreundlich, und das Gerät stellt ein optimales Werkzeug zur Charakterisierung von DUV/VUV-Optiken dar.
Für mehr Information:
Laser Zentrum Hannover e.V.
Laserkomponenten
Herr Dipl.-Phys. J. Kohlhaas/ Dr. D. Ristau
Hollerithallee 8
D-30419 Hannover
Tel.: +49 511 2788-240
Fax: +49 511 2788-100
e-mail: dr@lzh.de
http://www.lzh.de
Criteria of this press release:
Electrical engineering, Energy, Materials sciences, Mechanical engineering
transregional, national
Research results
German
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