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Reinraum an der Universität der Bundeswehr München
durch TÜV Süd zertifiziert
Zum ersten Mal zertifizierte der TÜV Süd an einer Universität einen Reinraum für die Halbleitertechno-logie. Das Institut für Physik an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Universität der Bundeswehr München erhielt vor wenigen Wochen die Zertifizierungsurkunde nach ISO 14644 und VDI 2038.
Unter Leitung der Professoren Ignaz Eisele und Hermann Baumgärtner werden an der Universität der Bundeswehr München modernste elektronische Bauelemente entwickelt, wie Transistoren mit Abmessungen im atomaren Bereich oder winzige Gassensoren für die Umwelt- und Prozessüberwachung. Äußerste Sauberkeit in den Labors ist Voraussetzung für die Herstellung von Strukturen im Nanobereich.
Der 2001 eingeweihte neue Reinraum an der Universität der Bundeswehr erfüllt die höchsten Anforderungen. Er verfügt mit der Güteklasse 1 über die höchste technisch erreichbare Reinheitsstufe und ist damit bundesweit in der Hochschullandschaft einmalig. Anliegen des Instituts für Physik ist aber nicht nur die Entwicklung innovativer Bauelemente im Rahmen öffentlich geförderter Projekte, sondern auch deren Umsetzung in industriell verwertbare Produkte. Dies geschieht in enger Zusammenarbeit sowohl mit der Großindustrie als auch mit innovativen Unternehmen aus dem Mittelstand.
Die Zertifizierung durch den TÜV Süd garantiert den Partnerunternehmen, dass die reinraumtechnischen Anlagen die Anforderungen nach dem heutigen Stand der Technik erfüllen. Neben einer langjährigen Erfahrung und einer vielfältigen Wissensbasis über Physik und Technologie von siliziumbasierten Systemen bildet dies eine wichtige Grundlage für das "Innovation Center for Nano- and Micro Systems".
Ansprechpartner:
Michael Brauns
Pressesprecher
Tel.: 089/6004-2004
E-Mail: michael.brauns@unibw.de
Criteria of this press release:
Electrical engineering, Energy, Mathematics, Physics / astronomy
transregional, national
Research projects, Transfer of Science or Research
German
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