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Erstmals stellen auf dem "Produktmarkt Mikrosystemtechnik" 10 Aussteller ihre innovativen Lösungen rund um die Produktionstechnik für Mikrosysteme aus. Der von IVAM organisierte Gemeinschaftsstand in Halle B6, Stand 425 auf der Productronica in München vom 9. bis 12. November 1999 zeigt einen Überblick über die aktuelle Fertigungstechnologie in der Mikrosystemtechnik.
Die Aussteller:
AVT-Zentrum Dortmund
Bartels Mikrotechnik GmbH, Dortmund
FRT GmbH, Bergisch Gladbach
Klocke Nanotechnik, Aachen
Kugler GmbH, Salem
microdrop GmbH, Norderstedt
micro*montage, Soest, NL
NanoFocus GmbH, Duisburg
NanoPhotonics AG, Mainz
SPI GmbH, Oppenheim
Ihre Ansprechpartner der IVAM auf der Messe, Herr Dr. Helge Bohlmann und Herr Andreas Blümke freuen sich auf Ihren Besuch.
Im Zentrum für Aufbau- und Verbindungstechnik Dortmund (AVT-Zentrum) werden umfangreiche industrielle AVT-Dienstleistungen von kompetenten Unternehmen zur Entwicklung von Prototypen, Muster- und Nullserien sowie die Erprobung neuer Fertigungsverfahren angeboten. Die Servicepalette und die Bedeutung für externe Nutzer wird auf der Productronica dargestellt.
Bartels Mikrotechnik GmbH stellt in München seine Arbeiten im Bereich der Konfektionierung von Mikrokabeln aus. Solche miniaturisierten mehradrigen Kabel werden - insbesondere bei kniffeligen Sensoraufgaben - in immer größerem Maße eingesetzt. Diese Kabel sauber abzuisolieren geht mit "klassischen" Methoden nicht mehr. Mit Hilfe des Excimerlasers können die einzelnen Adern des Kabels in nahezu beliebiger Art und Weise "lokal" von der Isolierung befreit werden.
FRT Fries Research & Technology GmbH ist spezialisiert auf Oberflächenanalyse mit unterschiedlichen Verfahren. FRT präsentiert daher auf der Productronica Geräte zur Oberflächenanalyse, wie den MicroProf und den MicroGlider. In Kombination mit technisch-wissenschaftlicher Software, Auswerte- und Steuersoftware können diese Geräte zur In-Line-Kontrolle eingesetzt werden.
Die Erweiterung des Elektronenmikroskops vom reinen Analysegerät zum materialbearbeitenden System ist dem Unternehmen Dr. Volker Klocke Nanotechnik mit dem Nano-Manipulator gelungen. Durch den kompakten Aufbau des Manipulators kann in den nur wenige Zentimeter kleinen Raum zwischen Elektronenquelle und Probe noch ein vakuumtaugliches Werkzeug eingebracht werden. Der Bewegungsbereich der Manipulatoren umfaßt einen halben Kubikzentimeter bei einer Auflösung von einem Millionstel Millimeter. Der Manipulator kann diverse Mikrowerkzeuge zum Schneiden, Schaben, Funkenerodieren oder zu Laserbearbeitung aufnehmen.
Die Kugler GmbH bietet luftgelagerte Rundtische, luftgelagerte Linearführungen und luftgelagerte Bearbeitungsmaschinen, aber auch interferometrische Messgeräte zur berührungslosen Messung von Oberflächen. Die Palette beinhaltet darüber hinaus IR-Optiken sowie optische Systeme speziell für den Hochleistungs-CO2-Laserbereich, in welchem höchste Qualität ein absolutes Muss ist.
Die Technologiegruppe micro*montage hat eine maßgeschneiderte Lösung für die spezifischen Anforderungen der Mikromontage entwickelt. Das System kombiniert den Einsatz einer ganzen Palette von Technologien (Die- und Drahtbonden, Mikrolöten und -schweißen, Aufbau- und Verbindungstechnik, Kleben, Kleinstprodukthandhabung, usw.), die von Experten unter Einbindung einer intelligenten und kompletten Logistik-Steuerung und -verarbeitung betreut werden.
microdrop GmbH zeigt ein System zur berührungslosen Mikrodosierung von Flüssigkeiten. Diese Mikrodispenser decken einen Bereich von Piko- bis Mikroliter ab.
NanoFocus Messtechnik präsentiert neue Anwendungen auf dem Gebiet der berührungslosen Oberflächenmesstechnik. Die Vorteile des konfokalen Messsystems µSurf mit seiner flächenhaften Erfassung von Oberflächenstrukturen werden an Waferbumps und Si-Ätzstrukturen demonstriert. Das Autofokus-System µScan mit seinem 1 µm Messfleck zeigt Einsatzmöglichkeiten im fertigungsnahen Bereich der IC-Packaging-Prozesskontrolle und -Qualitätssicherung. Dick-und Dünnschichten werden automatisch vermessen und ausgewertet. Die große Messgeschwindigkeit von 40 mm/s erlaubt die Bestimmung von Verwerfungen (warpage) an CSP-Modulen sowie an großflächigen Substraten wie Keramiksubstrate oder FR4-Leiterplatten.
NanoPhotonics AG entwickelt optische Instrumente zur In-line-Inspektion. Auf der Productronica stehen ELLIPSON, ein kompaktes hochauflösendes Instrument zur Dünnschicht-Qualitätsüberwachung, und ARGUS, ein multifunktionales Messsystem zur Analyse von Dünnschichtmembranen und CDs in Mikrosystemen, im Mittelpunkt der Präsentation.
Das technisch industrielle Kleinstmikroskop (TIMM) der SPI GmbH vereint alle Funktionen in einem Gehäuse von 21 mm Durchmesser und einer Länge von 150 mm. Sein Gewicht beträgt nur 100 g und ermöglicht die einfache Einbindung des Mikroskops in Roboter zur Prozessvisualisierung oder seine Integration in Maschinenanlagen. Es ist damit ein außerordentlich flexibles Mikroskop, das zu Inspektionsaufgaben oder wegen seiner geringen Größe zu unterschiedlichsten Einsätzen genutzt werden kann.
IVAM NRW e. V. ist eine internationale industrielle Interessengemeinschaft, die mit ihren 75 Mitgliedern die Palette der Mikrosystemtechnik komplett abdeckt. Ihre Aufgaben liegen in der Funktion des Technology Brokers, in Presse- und Öffentlichkeitsarbeit sowie Technologietransfer und in "klassischen" Verbandsaufgaben.
Pressekontakt
IVAM NRW e. V.
Dr. Christine Neuy
Emil-Figge-Str. 76
44227 Dortmund
Tel.: 02 31 / 97 42-168
Fax: 02 31 / 97 42-150
E-Mail: cn@ivamnrw.com
Criteria of this press release:
Electrical engineering, Energy, Mechanical engineering
transregional, national
Miscellaneous scientific news/publications
German
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