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Gaede-Preis der DPG für Dr. Hilde Hardtdegen
Mittwoch, 19. Maerz 1997
Dr. Hilde Hardtdegen, Wissenschaftliche Mitarbeiterin am Institut für Schicht- und Ionentechnik des Forschungszentrums Jülich, erhält von der Deutschen Vakuum-Gesellschaft den Gaede-Preis 1997. Die Gesellschaft würdigt damit ihre Arbeiten zur Weiterentwicklung eines Prozesses zur Herstellung von Halbleiterschichten (MOVPE-Prozeß). Die Preisverleihung findet am Mittwoch im Rahmen der Frühjahrstagung der Deutschen Physikalischen Gesellschaft in Münster statt.
Für die Nachrichtenübertragung mittels Glasfaser sind Halbleiterlaser erforderlich, genau wie für jedes im Handel befindliche CD-Abspielgerät. Solche optoelektronischen Bauelemente werden aus Halbleiterschichtsystemen, zum Beispiel aus Galliumarsenid, Galliumaluminiumarsenid und Indiumphosphid, hergestellt. Das wichtigste Herstellungsverfahren für die Vielfachschichten ist die metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE). Bei diesem technologischen Prozeß werden Gase wie Arsin, Phosphin u.ä. über eine auf 650 °C aufgeheizte Halbleiteroberfläche, einen sogenannten Wafer, geleitet. Die Gase zersetzen sich, und Arsen und Gallium bilden die für das elektronische Bauelement wichtige kristalline Halbleiterschicht. Als Trägergas, mit dem die metallorganischen Gase zur Halbleiteroberfläche befördert werden, diente früher Wasserstoff, ein hochexplosives Gas; dies bedeutete ein erhebliches Gefahrenpotential bei der industriellen Herstellung solcher Bauelemente.
Die Prozeßsicherheit konnte durch die Arbeiten von Dr. Hardtdegen und ihrer Gruppe wesentlich verbessert werden, indem das hochexplosive leichte Trägergas Wasserstoff durch den ungefährlichen Stickstoff ersetzt wurde. Gleichzeitig wurden die Reinheit sowie die optischen und elektrischen Eigenschaften der hergestellten Halbleiterschichten erheblich verbessert und die Prozeßkosten erheblich verringert.
Die Arbeit von Dr. Hardtdegen spannt den weiten Bogen von der Grundlagenforschung bis hin zur industrienahen Anwendung. Forschungszentren sowie Industrie im In- und Ausland sind sehr an diesem "Stickstoffprozeß" interessiert.
Criteria of this press release:
Electrical engineering, Energy, Information technology, Mathematics, Mechanical engineering, Physics / astronomy
transregional, national
Research projects
German
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