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08/05/2002 09:55

Neuartige Drucksensormodule für chemische und pharmazeutische Industrie

Andreas Albrecht Marketing
CiS Institut für Mikrosensorik GmbH

    Kundenspezifische Si-Drucksensormodule und OEM-Baugruppen mit standardisierten Schnittstellen für Relativ- und Absolutdruckmessung im Bereiche von 10 mbar bis 16 bar werden gegenwärtig im CiS entwickelt und mit potentiellen Anwendern in Feldversuchen getestet.

    Spezifische Schwerpunkte sind die Verwendung chemisch beständiger Substratmaterialien wie Al2O3-Keramik als Träger für das Drucksensorchip (siehe Abbildung) und die Entwicklung von Fügeverfahren unter Verwendung chemischer inerter, langzeitstabiler Fügehilfsstoffe. Damit werden neben dem Einsatz im Automotivbereich und der Haushalttechnik auch günstige Voraussetzungen für Anwendungen in der chemischen und pharmazeutischen Industrie geschaffen.

    Das CiS verfügt über die Möglichkeiten zur Entwicklung des kundenspezifischen Designs der Primärsensoren mittels FEM. Zur kostengünstigen Fertigung im Bereich kleiner und mittlerer Stückzahlen stehen als technologische Plattform eine komplette 4"-Waferlinie für die Chipfertigung und die entsprechenden Prozessschritte der Aufbau- und Verbindungstechnik auf ca. 200 m² Reinraumfläche zur Verfügung. Moderne Messplätze und das Qualitätsmanagment nach ISO 9001 sichern gegenüber dem Kunden die Einhaltung der vereinbarten Parameter und Qualitätsnormen.


    More information:

    http://www.cismst.de


    Images

    Drucksensorchip
    Drucksensorchip

    None


    Criteria of this press release:
    Biology, Chemistry, Electrical engineering, Energy, Mechanical engineering
    transregional, national
    Research results
    German


     

    Drucksensorchip


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