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Chemnitzer Sonderforschungsbereich 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" präsentiert aktuelle Forschung rund um das Silizium.
Sie sorgen immer wieder für Aufsehen in der Mikro- und Nanowelt: Im Sonderforschungsbereich "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" (SFB 379) entwickeln Wissenschaftler der TU Chemnitz einzigartige Sensoren und Aktoren für die Automobil- und Luftfahrtindustrie oder forschen an ultrafeinen Messverfahren. Am 5. November 2002 werden ihre neuesten Ergebnisse auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik an der Chemnitzer Uni der Öffentlichkeit vorgestellt.
Zu dem Kolloquium, das ab 9.00 Uhr im TU-Hörsaalgebäude, Hörsaal N 113, Reichenhainer 70, stattfindet, werden mehr als 100 Gäste aus Wissenschaft und Industrie erwartet. "Wir betreiben Grundlagenforschung, die überaus interdisziplinär zusammengesetzt ist", erläutert SFB-Sprecher Prof. Dr. Thomas Geßner, der in Chemnitz die Professur für Mikrotechnologie und das Zentrum für Mikrotechnologien leitet. So sind nicht nur Mikrosystemtechniker, sondern auch Physiker, Systemwissenschaftler und Mechatroniker am SFB 379 "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" beteiligt.
Um nur zwei Forschungs-Highlights zu nennen, die vorgestellt werden: Dank des so genannten "Airgap Isolation of Microstructures"-Verfahren (AIM), das an der TU Chemnitz entwickelt wurde, können Silizium-Strukturen billiger und zudem ohne elektrische oder mechanische Störgrößen hergestellt werden. Weltweit einzigartig ist auch ein Messverfahren, das Oberflächen ultrafein abtastet und in der Lage ist, aus den ermittelten Ergebnissen ein Oberflächenprofil in Nanometerauflösung zu erstellen.
Der Sonderforschungsbereich "Mikromechanische Senor- und Aktorarrays" existiert seit 1995 an der TU Chemnitz und wird gefördert von der Deutschen Forschungsgemeinschaft.
Weitere Informationen gibt Dr. Bernd Löbner, wissenschaftlicher Mitarbeiter im Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz, unter Telefon (03 71) 531 31 29.
http://www.infotech.tu-chemnitz.de/~zfm/sfb379/index.html
Criteria of this press release:
Electrical engineering, Energy, Information technology, Materials sciences, Mathematics, Mechanical engineering, Physics / astronomy
transregional, national
Miscellaneous scientific news/publications, Research results, Scientific conferences
German
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