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03/17/2026 12:49

Neue Impulse für die industrielle Mikrofertigung: Prof. Dr. Erica Lilleodden leitet Geschäftsfeld am Fraunhofer ISIT

Claudia Buschmann Pressestelle
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie

    Das Fraunhofer ISIT stärkt seine Kompetenzen in der Mikrofertigung: Prof. Dr. Erica Lilleodden übernimmt die Leitung des Geschäftsfeldes Mikrofertigungsverfahren. Die Materialwissenschaftlerin bringt internationale Erfahrung aus Forschung und Institutsleitung mit. Am ISIT entwickelt sie Fertigungsprozesse für mikrostrukturierte Systeme und Mikroelektronik. Ziel ist es, innovative Mikrofertigung schneller in industrielle Anwendungen zu überführen und die technologische Souveränität Europas zu stärken.

    Das Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT stärkt seine Kompetenzen in der Mikrofertigung: Prof. Dr. Erica Lilleodden hat die Leitung des Geschäftsfeldes Mikrofertigungsverfahren übernommen. Mit ihrer internationalen Forschungserfahrung und langjährigen Führungsexpertise wird sie die strategische Weiterentwicklung dieses zentralen Technologiebereichs vorantreiben.

    Mikrofertigung als Schlüsseltechnologie für die nächste Generation von Mikrosystemen
    Das Geschäftsfeld Mikrofertigungsverfahren gehört zu den größten und technologisch zentralen Bereichen am Fraunhofer ISIT. Im Fokus stehen die Entwicklung und Optimierung von Prozessen zur Herstellung mikrostrukturierter, multimaterieller Systeme – insbesondere für Anwendungen in der Mikroelektronik und angrenzenden Zukunftsfeldern.
    „Dieses Geschäftsfeld adressiert die industriellen Anforderungen an neue Fertigungsansätze für mikrostrukturierte Bauteile und Systeme“, erklärt Lilleodden. „Unsere Arbeit profitiert dabei maßgeblich von der engen Verzahnung mit anderen Geschäftsfeldern sowie vom direkten Zugang zur Reinraum-Infrastruktur am Institut.“

    Internationale Expertise trifft angewandte Forschung

    Prof. Dr. Erica Lilleodden ist eine international erfahrene Materialwissenschaftlerin mit Stationen in den USA und Deutschland. Nach ihrer Promotion an der Stanford University war sie unter anderem an führenden Forschungsinstitutionen wie dem Lawrence Berkeley National Laboratory und den Sandia National Laboratories tätig.

    In Deutschland prägte sie über viele Jahre die Werkstoffforschung am Helmholtz-Zentrum Hereon sowie als Professorin an der Technischen Universität Hamburg. Zuletzt leitete sie als Direktorin das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS in Halle (Saale).

    Mit ihrem Wechsel an das Fraunhofer ISIT verbindet sie bewusst auch einen Perspektivwechsel: „Die Rolle als Geschäftsfeldleiterin ermöglicht eine deutlich engere Zusammenarbeit mit Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftlern sowie mit unseren Industriepartnern auf operativer Ebene“, so Lilleodden. „Ich möchte die wissenschaftliche Strategie aktiv mitgestalten und insbesondere den Bereich Test und Diagnostik weiter ausbauen.“

    Fokus auf Prozessverständnis, Funktionalität und Zuverlässigkeit

    Ein zentrales Differenzierungsmerkmal des ISIT sieht Lilleodden in der ganzheitlichen Betrachtung von Mikrofertigungsprozessen:
    „Wir entwickeln nicht nur Prozesse, sondern identifizieren auch neue Funktionalitäten und untersuchen gezielt die Zuverlässigkeit der entstehenden Systeme“, sagt sie. „Diagnostische Methoden spielen dabei eine entscheidende Rolle – insbesondere, um zu verstehen, warum Bauteile funktionieren oder eben nicht.“

    Antwort auf steigende Anforderungen aus Industrie und Gesellschaft

    Die Anforderungen an Mikrosysteme wachsen stetig – getrieben durch technologische, wirtschaftliche und gesellschaftliche Entwicklungen.
    „Der Innovationsdruck ist enorm“, betont Lilleodden. „Systeme müssen leistungsfähiger, nachhaltiger und gleichzeitig kosteneffizient sein. Diese Anforderungen stehen oft in direktem Spannungsfeld zueinander.“
    Das Fraunhofer ISIT adressiert diese Herausforderungen durch anwendungsnahe Forschung und enge Kooperationen mit Industriepartnern. Ziel ist es, Technologien frühzeitig auf industrielle Anforderungen auszurichten und effizient in die Anwendung zu überführen.

    Strategische Rolle für Mikroelektronik und europäische Souveränität
    Ein besonderer Fokus liegt auf der Stärkung der Mikroelektronik in Deutschland und Europa. Im Kontext der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD) und europäischer Initiativen wie dem EU Chips Act sieht Lilleodden große Chancen für das ISIT: „Wir werden verstärkt an komplexen Fragestellungen arbeiten, die für die technologische Souveränität Europas entscheidend sind – etwa in der Prototypenentwicklung, Prozessoptimierung und im Wafer-Level-Packaging“, so Lilleodden.

    Führung mit Fokus auf Zusammenarbeit und Entwicklung

    In ihrer neuen Rolle setzt Lilleodden auf Teamarbeit, interdisziplinären Austausch und die gezielte Förderung von Nachwuchskräften:
    „Jede und jeder im Team trägt mit individuellen Kompetenzen zum Gesamterfolg bei. Entscheidend ist, diese Stärken zu erkennen und gemeinsam weiterzuentwickeln“, sagt sie.
    Besonders wichtig ist ihr dabei die Verbindung von wissenschaftlicher Exzellenz und konkreter Anwendung: „Forschung bei Fraunhofer bedeutet, Wissen in Lösungen zu übersetzen, die in der Praxis wirken.“

    Klare Vision: Technologieführerschaft in der Mikrofertigung

    Für die kommenden Jahre hat Lilleodden eine klare Zielsetzung:
    Das Geschäftsfeld Mikrofertigungsverfahren soll als führender Partner für innovative Fertigungstechnologien positioniert werden – national wie international.
    „Unser Beitrag zur Mikroelektronik ist entscheidend“, fasst sie zusammen. „Wir entwickeln Technologien, die zukünftige Anwendungen ermöglichen – von KI über Quantentechnologien bis hin zu medizinischer Sensorik.“

    Über das Fraunhofer ISIT

    Das Fraunhofer-Institut für Silizium-Technologie (ISIT) ist eine der europaweit modernsten Forschungseinrichtungen für Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. Herzstück des Instituts sind die Reinraumanlagen, die exzellente Forschungsbedingungen bieten und zugleich die Fertigung entwickelter Mikrochips im industriellen Maßstab ermöglichen. Rund 190 Wissenschaftler*innen entwickeln am ISIT in enger Zusammenarbeit mit Industriepartnern Bauelemente der Leistungselektronik und Mikrosysteme, u.A. für photonische Systeme und Quantencomputer.


    Contact for scientific information:

    Claudia Buschmann claudia.buschmann@isit.fraunhofer.de


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    Criteria of this press release:
    Journalists
    Electrical engineering
    transregional, national
    Miscellaneous scientific news/publications, Personnel announcements
    German


     

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