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In der Kürze liegt die Würze: Seit einigen Jahren arbeiten Industrie und Forschung daran, Licht mit extrem kurzen Wellenlängen, so genanntes Extreme Ultra Violett (XUV) und Very Ultra Violett (VUV), nutzbar zu machen. Ursprünglicher Initiator dieser Aktivitäten war die Halbleiterindustrie, die solche Lichtstrahlung für die Herstellung immer kleinerer Strukturen benötigt. Um die niedersächsische Industrie bei der Entwicklung dieser Zukunftstechnologie zu unterstützen, veranstalten die Landesinitiative Mikrosystemtechnik Niedersachsen und die PhotonicNet GmbH am Dienstag, 5. Oktober 2005, in Göttingen den Workshop "VUV und XUV - neue Chancen für die Vermessung von Mikrosystemen".
Die physikalischen Grenzen von optischen Messsystemen werden durch die Wellenlänge des verwendeten Lichts bestimmt. Mit Hilfe kurzwelliger Strahlung eröffnet sich die Chance, die bestehenden Auflösungsgrenzen von ca. 0,4 µm nach unten zu verschieben. Damit könnten besonders leistungsfähige optische Messsysteme gebaut werden. Diese könnten dann auch kleinste Strukturen in der Größe von weniger als 100 nm zuverlässig abbilden. Für die Fertigung und Qualitätssicherung beispielsweise von Mikrosystemen eröffnen sich damit ganz neue Möglichkeiten.
Für solche Hochleistungsmesssysteme ist noch viel Entwicklungsarbeit notwendig. Die Anforderungen reichen von stabilen, preiswerten Quellen für solche Wellenlängen über geeignete Linsen (die von sichtbarem Licht bekannten Systeme aus Glas oder Kunststoff funktionieren hier nicht) bis hin zu Kenntnissen über das Verhalten der untersuchten Materialien bei Einwirkung derartiger Strahlung.
Göttingen ist am Standort Deutschland sowohl ein Schwerpunkt der Messtechnik als auch ein Schwerpunkt der Aktivitäten zu VUV und XUV. Die Landesinitiative Mikrosystemtechnik Niedersachsen und die PhotonicNet GmbH wollen gemeinsam die bestehenden Potenziale zu diesem zukunftsträchtigen Themenfeld bündeln. Der Workshop "VUV und XUV - neue Chancen für die Vermessung von Mikrosystemen" soll Forscher und Entwickler, Industrie und Institute zusammenführen, die sich mit verschiedenen Teilaspekten der VUV/XUV-Erzeugung und -Nutzung beschäftigen, und so die Entwicklung von VUV/XUV-basierten Messverfahren voranbringen. Der Gastgeber des Workshops, das Laser-Laboratorium Göttingen, beschäftigt sich in seinen Forschungsarbeiten bereits seit vielen Jahren mit Nutzungsmöglichkeiten von VUV und XUV.
Der Workshop beginnt am 5. Oktober, 10.30 Uhr, im Laser-Laboratorium Göttingen e.V., Hans-Adolf-Krebs-Weg 1, 37077 Göttingen.
Weitere Informationen gibt es bei:
Landesinitiative Mikrosystemtechnik Niedersachsen
c/o VDI/VDE Innovation + Technik GmbH
Dr. Matthias Künzel
Rheinstr. 10B
14513 Teltow
www.mst-niedersachsen.de
PhotonicNet GmbH
Dr. Hans-Jürgen Hartmann
Garbsener Landstr. 10
30419 Hannover
www.photonicnet.de
Laser-Laboratorium Göttingen e.V.
Prof. Dr. Gerd Marowsky
Hans-Adolf-Krebs-Weg 1
37077 Göttingen
www.llg.gwdg.de
http://www.mst-niedersachsen.de
http://www.photonicnet.de
http://www.llg.gwdg.de
Criteria of this press release:
Electrical engineering, Energy, Information technology, Mechanical engineering
regional
Miscellaneous scientific news/publications, Transfer of Science or Research
German
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