idw – Informationsdienst Wissenschaft

Nachrichten, Termine, Experten

Grafik: idw-Logo
Grafik: idw-Logo

idw - Informationsdienst
Wissenschaft

Science Video Project
idw-Abo

idw-News App:

AppStore

Google Play Store



Instance:
Share on: 
05/02/2006 12:05

Positioniersysteme für die Elektronenstrahllithographie

Sigrid Neef Marketing und Kommunikation
Fachhochschule Jena

    Kolloquium an der FH Jena

    Morgen findet um 17.00 Uhr in der Fachhochschule Jena ein Kolloquium der IG "Elektrische Antriebe und Aktoren" zum Thema "Positioniersysteme für die Elektronenstrahllithographie" statt.

    Referent Gerhard Schubert, Dipl. Physiker von der Vistec Electron Beam GmbH, hat langjährige Erfahrungen auf den Gebieten der Positioniersysteme und der Vakuumtechnik. Er kann auf mehrere Patente verweisen.

    Die Vistec Electron Beam GmbH ist ein Jenaer Unternehmen, das Elektronenstrahl - Lithographiegeräte für die Hersteller mikroelektronischer Schaltungen auf der ganzen Welt fertigt. Die Positioniersysteme spielen in diesen Systemen eine wichtige Rolle. Sie müssen sehr hohe Genauigkeiten im Nanometerbereich erreichen. Erschwerend kommt hinzu, dass die Positioniersysteme im Vakuum arbeiten müssen und keine Magnetfelder die Abbildung mit dem Elektronenstrahl stören dürfen.

    Kolloquium "Positioniersysteme für die Elektronenstrahllithographie"
    Mittwoch, 3. Mai 2006
    17.00 Uhr
    FH Jena, Haus 5, Etage 3, Hörsaal 5

    Kontakt: Prof. Dr. Peter Dittrich
    peter.dittrich@fh-jena.de

    Sigrid Neef


    More information:

    http://www.fh-jena.de


    Images

    Criteria of this press release:
    Electrical engineering, Energy
    regional
    Miscellaneous scientific news/publications, Transfer of Science or Research
    German


     

    Help

    Search / advanced search of the idw archives
    Combination of search terms

    You can combine search terms with and, or and/or not, e.g. Philo not logy.

    Brackets

    You can use brackets to separate combinations from each other, e.g. (Philo not logy) or (Psycho and logy).

    Phrases

    Coherent groups of words will be located as complete phrases if you put them into quotation marks, e.g. “Federal Republic of Germany”.

    Selection criteria

    You can also use the advanced search without entering search terms. It will then follow the criteria you have selected (e.g. country or subject area).

    If you have not selected any criteria in a given category, the entire category will be searched (e.g. all subject areas or all countries).