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Laserstrahlung hat sich als besonders geeignetes Werkzeug für die flexible Mikrostrukturierung erwiesen. Durch den Einsatz von F2-Excimer-Lasern (157 nm) und in Kombination mit einem im Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) entwickelten Verfahren zur Herstellung dreidimensionaler Konturen für Mikrobauteile können sowohl PTFE als auch Quarzglas mit einer Tiefenauflösung deutlich unter einem Mikrometer und mit einer Strukturauflösung bis in den Mikrometerbereich bearbeitet werden.
Laserstrahlung hat sich als besonders geeignetes Werkzeug für die flexible Mikrostrukturierung erwiesen. Durch die Nutzung der passenden Laseranlagen (z. B. Excimer-Laser) können Mikroschnitte und -bohrungen sowie komplexe dreidimensionale Topographien in vielen Materialien gefertigt werden.
Bisher war es jedoch nicht möglich, Quarzglas oder auch PTFE (Polytetrafluorethylen, Handelsname: Teflon) mit dem Laser zufriedenstellend zu strukturieren. Durch den Einsatz von F2-Excimer-Lasern (157 nm) ist nun die Bearbeitung dieser für die Mikrosystem- und Medizintechnik außerordentlich wichtigen Werkstoffe ermöglicht worden. In Kombination mit einem im Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH) entwickelten Verfahren zur Herstellung dreidimensionaler Konturen für Mikrobauteile können sowohl PTFE als auch Quarzglas mit einer Tiefenauflösung deutlich unter einem Mikrometer und mit einer Strukturauflösung bis in den Mikrometerbereich bearbeitet werden.
Aufgrund der besonderen Materialeigenschaften von PTFE (nicht entflammbar, antiadhäsiv, temperatur-beständig, biokompatibel) ist dieser Werkstoff vor allem für den Einsatz im Bereich der Medizin- und Elektrotechnik interessant. Die Anwendungen für Quarzglas sind ebenfalls sehr vielfältig. Aufgrund seiner hohen Transparenz ist Quarzglas insbesondere für die Herstellung von optischen Linsen, Lichtleitfasern zur Datenübertragung und für Anwendungen in der UV-Lithographie geeignet.
Durch den Einsatz der extrem kurzwelligen Laserstrahlung ist hiermit eine fertigungstechnische Lücke geschlossen worden. Nahezu jeder technisch relevante Werkstoff kann mit Lasern flexibel und mit Mikrometerauflösung strukturiert werden. Nähere Informationen zu den Mikrobearbeitungsverfahren und Lasersystemen sind im LZH erhältlich.
Für mehr Information:
Laser Zentrum Hannover e.V.
Herr Dipl.-Ing. Klaus Körber
Hollerithallee 8
D-30419 Hannover
Tel.: +49 511 2788-316
Fax: +49 511 2788-100
e-mail: kb@lzh.de
http://www.lzh.de
Criteria of this press release:
Materials sciences, Mechanical engineering
transregional, national
Research results
German
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