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Unter dem Titel "MEMS from Ilmenau" (MEMS = Micro-Electro-Mechanical System) stellen die TU Ilmenau und die Betreibergesellschaft für die Applikations- und Technologiezentren Thüringen mbH (BATT) den Mikro- und Nanotechnologie-Standort Ilmenau vor. Das Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) der TU Ilmenau ist mit neuen Forschungsergebnissen vor Ort, die BATT stellt ihr Dienstleistungsangebot für Unternehmen der Mikroelektronik und Mikrotechnologie vor. Bundeskanzlerin Angelika Merkel würdigte den Ilmenauer Ausstellungsbeitrag vorab bereits in ihrem Internet-Video-podcast.
Das Institut für Mikro- und Nanotechnologien präsentiert aus den Schwerpunkten der aktuellen Forschungsarbeit das Fügen mit "Black Silicon": Durch ein bis zwei Millionen Nanonadeln pro Quadratmillimeter werden zwei Bauteile - ähnlich dem Prinzip eines Klettverschlusses - verbunden und können auch wieder voneinander gelöst werden. Erzeugt wird die feine Struktur aus Siliziumnadeln durch Aufrauen der Oberfläche des Bauelements. Zu diesem Zweck wird das Silizium mit geladenen Teilchen so lange bombardiert, bis lange, spitze Nadeln entstehen. Gegeneinander gedrückt, verkeilen sich die Nadeln ineinander und geben den Bauteilen festen Halt. Aufgrund der Ähnlichkeit zu einer Rasenstruktur sprechen die Wissenschaftler auch von Siliziumgras. Auf einem Quadratmillimeter Chipfläche stehen dabei bis zu 4 Millionen Nadeln, die 20 tausendstel Millimeter lang und nur einen halben Mikrometer breit sind. Da die Verbindungsstellen flüssigkeitsdicht sind und zudem leicht gasdicht gemacht werden können, ergeben sich neben der Chipproduktion weitere breite Einsatzmöglichkeiten in Biologie, Chemie und Medizin. Ferner werden Mikrostrukturen in Glas in Form von Kapillaren und fotostrukturierbarem Glas vorgestellt.
Weitere Forschungsarbeiten stellen die Ilmenauer TU-Fachgebiete Mikromechanische Systeme, Nichtmetallische Anorganische Werkstoffe, Fahrzeugtechnik und das Zentrum für Innovationskompetenz (ZIK) vor. Standort: Halle 15 /D 34-34 am IVAM-Gemeinschaftsstand "Microtechnology", dem internationalen Fachverband für Mikrotechnik, Nanotechnologie und Neue Materialien. Am Stand "Forschung für die Zukunft" - Halle 2, Stand C39 ist die TU Ilmenau mit einem Exponat des Patentzentrums Thüringen (PATON) vertreten. Vorgestellt wird die Analysesoftware PATONanalist, die eine rationelle Unterstützung für die integrierte Patent- und Literaturanalyse bietet.
Kontakt:
Betreibergesellschaft für Applikations- und Technologiezentren Thüringen mbH
Herr Dr. Bertram Harendt
Mainzerhofstraße 10, 99084 Erfurt
tel.: +49 361 5603 -189, fax: +49 361 5603 -335
bertram.harendt@batt-thueringen.de
TU Ilmenau
Institut für Mikro- und Nanotechnologien
Prof. O. Ambacher (Direktor)
Gustav-Kirchhoff-Str.7, 98693 Ilmenau
tel.:+49 3677 69-3402, fax: +49 3677 69-3499
Black Silicon: Nanonadeln des "Klettverschlusses"
TU Ilmenau
None
Criteria of this press release:
Economics / business administration, Electrical engineering, Energy, Information technology, Materials sciences, Mechanical engineering
transregional, national
Miscellaneous scientific news/publications, Transfer of Science or Research
German
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