idw – Informationsdienst Wissenschaft
Nachrichten, Termine, Experten
Nachrichten, Termine, Experten
idw - Informationsdienst
Wissenschaft
Mikromechanische Sensoren auf Kundenwunsch
Erfurt, März 2001 - Drucksensorchips für den Messbereich von 0,01-400 bar aus dem CiS sind für Druckmessungen in Gasen und Flüssigkeiten in vielfältigen Anwendungen geeignet. Die Chips von ca. 6*6 mm2 nutzen als Wirkprinzip eine piezoresistive Widerstandsbrücke. Basierend auf der technologischen Kernkompetenz des CiS zur Entwicklung und Fertigung von bulk-mikromechanischen Sensoren und Sensormodulen ist die Messung weiterer mechanischer Größen wie z.B. Beschleunigung durch entsprechend gestaltete mechanische Verformungskörper (Membran, Balken, Zunge) möglich.
Neben dem piezoresistiven Effekt wird zur Signalwandlung das kapazitive Meßprinzip zur Erfassung von Verformungen ausgenutzt.
Das CiS verfügt über Möglichkeiten zur Entwicklung des kundenspezifischen Designs der Sensoren mittels FEM. Zur kostengünstigen Fertigung im Bereich kleiner und mittlerer Stückzahlen stehen als technologische Plattform eine komplette 4``-Waferlinie und die entsprechenden Prozeßschritte der Aufbau- und Verbindungstechnik auf ca. 200 m2 Reinraumfläche zur Verfügung.
Das CiS präsentiert sein komplettes Leistungsspektrum im Bereich Design und Prototyping von Si-Mikrosensoren auf den bevorstehenden Fachmessen:
Hannover Industriemesse 2001; Halle 7, Stand E 14
SMT/Hybrid/Packaging 2001 Nürnberg; Halle 3, Stand 641.
Sensor 2001 Nürnberg; Halle 1, Stand 662
Kontakt:
Für die Presse
Andreas Albrecht
CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH
Haarbergstraße 61
99097 Erfurt
Tel: 0361 4205110
Fax: 0361 4205113
e-Mail: info@cismst.de
http://www.cismst.de
Für ein Belegexemplar bedanken wir uns.
Criteria of this press release:
Electrical engineering, Energy
transregional, national
Research results
German
You can combine search terms with and, or and/or not, e.g. Philo not logy.
You can use brackets to separate combinations from each other, e.g. (Philo not logy) or (Psycho and logy).
Coherent groups of words will be located as complete phrases if you put them into quotation marks, e.g. “Federal Republic of Germany”.
You can also use the advanced search without entering search terms. It will then follow the criteria you have selected (e.g. country or subject area).
If you have not selected any criteria in a given category, the entire category will be searched (e.g. all subject areas or all countries).
