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Elektronik in Miniatur
Mikrospiegel revolutionieren die Technik Universeller Abtastspiegel aus Chemnitz soll Laser-TV auf die Beine helfen
CHEMNITZ. Immer kleiner und immer leistungsfaehiger sind sie geworden, die elektronischen Bauteile fuer Computer. Doch lange Zeit waren manchen Anwendungen Grenzen gesetzt, weil die Mechanik hinterherhinkte. Das hat sich mittlerweile geaendert, seit die Prinzipien der Chipherstellung auch auf bewegliche Bauteile angewandt werden koennen. So haben Wissenschaftler der Technischen Universitaet Chemnitz-Zwickau kuerzlich eine Abtasteinheit entwickelt, die aus 25 winzigen ablenkbaren Spiegeln besteht. Die ganze Einheit, im Fachjargon Scannerarray genannt, ist etwa so gross wie ein Fuenf-Mark-Stueck und koennte in nicht allzu ferner Zukunft die optische und medizinische Geraetetechnik revolutionieren. Die Chemnitzer Forscher stellen die Abtasteinheit vom 22. bis zum 27. April auf der Hannover Messe vor.
Die Spiegeleinheit wurde von einer Arbeitsgruppe um Prof. Wolfram Doetzel und Prof. Thomas Gessner am Sonderforschungbereich (SFB) "Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays" entwickelt. Eine erste Pilotserie wurde mittlerweile am Zentrum fuer Mikro- technologien (ZfM) der Chemnitzer Uni hergestellt. Das ZfM hat unter Fachleuten der Mikrosystemtechnik einen sehr guten Ruf.
Das Scannerarray besteht aus mehreren gegeneinander isolierten Schichten von reinstem Silizium, in das die winzigen Strukturelemente eingeaetzt sind. Jeder Spiegel ist drei mal drei Millimeter gross und mit Metall bedampft, damit er das Licht besser reflektiert. Die Spiegel sind an zwei Stellen beweglich gelagert und koennen durch das Anlegen einer Spannung ausgelenkt werden. Dabei ist jeder Spiegel einzeln ansteuerbar.
Mit der Spiegeleinheit lassen sich unter anderem Laserstrahlen ablenken. Eine moegliche Anwendung ist daher etwa das Laser-Fernsehen, das ohne Bildschirm auskommt und die Bilder stark vergroessert an die Wand projiziert. Das ist freilich noch Zukunftsmusik, da die derzeitige Scanner-Serie die Bewegung der Spiegel um lediglich eine Achse erlaubt. Die Chemnitzer Forscher denken aber schon ueber eine Weiterentwicklung nach, die eine Auslenkung um eine weitere Achse moeglich macht. Auch die Messtechnik bekaeme neue Impulse. So koennte man, wenn das Scannerarray als Hohlspiegel mit veraenderlicher Brennweite eingesetzt wird, Entfernungen mit optischem Radar messen. Eine andere denkbare Anwendung waere die Materialbearbeitung mit Laserlicht. Weil man das Laserlicht in verschiedenen Ebenen buendeln kann, waere dies sogar dreidimensional moeglich.
Das Scannerarray unterstreicht einmal mehr den hohen Stand von Forschung und Entwicklung an der Chemnitzer Universitaet. So wurde am ZfM bereits ein hochgenauer Beschleunigungssensor fuer die Flugzeugnavigation entwickelt, der erheblich kleiner ist als heute uebliche Geraete. Erst vor kurzem stellten Prof. Doetzel und seine Mitarbeiter der OEffentlichkeit ein neuartiges Blutanalysesystem vor, das sie in Kooperation mit einer englischen Universitaet entwickelt hatten (siehe FAZ vom 13. 3. 96).
Kontakt: Technische Universitaet Chemnitz-Zwickau, Fakultaet fuer Elektrotechnik und Informationstechnik, Reichenhainer Str. 70, 09107 Chemnitz, Prof. Wolfram Doetzel, Telefon: (03 71) 5 31-32 65, Fax: (03 71) 5 31-32 59 oder vom 22. bis 27. April auf der Hannover Messe 1996, Halle 18, 1. Obergeschoss, Stand J 16 auf der Gemeinschaftsflaeche "Forschungsland Sachsen". Stichwort: Mikromechanisches Scannerarray
Criteria of this press release:
Electrical engineering, Energy
transregional, national
Research projects
German
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