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Bochum, 18.06.1997 Nr. 123
Chips tausendfach kleiner
Neue Impulse für die Miniaturisierung der Technik
12. Graduiertenkolleg ,Nanoelektronik" von der DFG bewilligt
Impulse für die Miniaturisierung in modernen Fertigungs-Technologien verspricht sich die RUB von ihrem neuen auf neun Jahre angelegten Graduiertenkolleg ,Nanoelektronische, mikromechanische und mikrooptische Systeme - Analyse mittels Ionen, Elektronen und Photonen". Dessen erste dreijährige Phase hat kürzlich die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) der RUB zum 1.10.1997 bewilligt. Mit nunmehr 12 Graduiertenkollegs und Beteiligungen an zwei weiteren Kollegs an anderen Universitäten gehört die RUB zu den Spitzenreitern in Deutschland.
Systematisches Studienprogramm
Sprecher des neuen Graduiertenkollegs ist der Nanoelektroniker Prof. Dr. Andreas Wieck (Lehrstuhl für Angewandte Festkörperphysik, Fakultät für Physik und Astronomie der RUB), der mit Kollegen von seiner, der Fakultät für Elektrotechnik und der Fakultät für Maschinenbau zunächst 12 Stipendiaten (10 Doktoranden und 2 Postdoktoranden) in verschiedenen Arbeitsgruppen betreuen und insbesondere dafür sorgen will, daß Chips auf nanoelektronischer Basis noch tausendfach kleiner gebaut werden können. Insgesamt ist das Graduiertenkolleg auf 24 Kollegiaten angelegt. Dessen didaktisches Ziel ist es, den Doktoranden ein systematisch angelegtes Studienprogramm anzubieten, das einen breiten Überblick über die methodischen und materialspezifischen Aspekte benachbarter Disziplinen bietet und vor allem Kontakte zu den jeweils ,komplementären" experimentellen und theoretischen Arbeitsgruppen erlaubt.
Grenzen herkömmlicher Technik ...
Die ständig fortschreitende Miniaturisierung in modernen Fertigungs-Technologien gründet sich zur Zeit fast ausschließlich auf photolithographische Methoden, die mit vielen technischen Finessen, inklusive der Verkürzung der verwendeten Wellenlängen, immer weiter verfeinert werden. Diese Entwicklung verlangsamt sich zusehends, erfordert immer höheren technischen Aufwand und ist den prinzipiellen Auflösungsgrenzen bereits sehr nahe. Aus diesen Gründen müssen zusätzliche Präparationsmethoden entwickelt, getestet und in der Ausbildung der zukünftigen Wissenschaftler verankert werden. Diese Forschungs- und Lehraufgaben will das neue Graduiertenkolleg konzentriert organisieren und interfakultativ durchführen und damit die Berufsaussichten der Kollegiaten verbessern.
... durch neue Methoden überschreiben
In ihm werden Strukturen von einigen 10 nm (1 Nanometer = 1 Milliardstel Meter) bis einigen mm durch Ionen, Elektronen und Photonen hergestellt und analysiert. Die dabei verwendeten Ionen- und Elektronenstrahlen weisen Fokusdurchmesser von nur wenigen 10 nm auf und liegen damit im Auflösungsvermögen wesentlich höher als die aktuelle Photolithographie. Die Tiefenauflösung kann insbesondere mit Ionenstrahlen ebenfalls Nanometer erreichen und wird vorwiegend zur Analyse verwendet. Es sollen sowohl miniaturisierte elektronische als auch mechanische und optische Funktionselemente präpariert werden. Ergänzend wird die hochauflösende Raster-Sonden-Technik zur Analyse und ebenso zur Strukturierung eingesetzt.
Weitere Informationen
Prof. Dr. Andreas Wieck, RUB, Fakultät für Physik und Astronomie, 44780 Bochum, Tel. 0234/700-6726, -3604, Fax: 0234/7094-380, email: andreas.wieck@rz.ruhr-uni-bochum.de
Criteria of this press release:
Biology, Chemistry, Electrical engineering, Energy, Information technology, Materials sciences, Mathematics, Mechanical engineering, Physics / astronomy
transregional, national
Research projects
German
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