idw – Informationsdienst Wissenschaft
Nachrichten, Termine, Experten
Nachrichten, Termine, Experten
idw - Informationsdienst
Wissenschaft
In einem 4-Millionen-Euro-Projekt haben Wissenschaftler der Technischen Universität Ilmenau eine hochpräzise Nanopositionier- und Nanomessmaschine für die Universität Stuttgart entwickelt und im Institut für Technische Optik aufgebaut. Sie erfüllt höchste Anforderungen an mehrdimensionale Präzisionsmessungen mit der Möglichkeit der reproduzierbaren Ansteuerung, Manipulation und Fabrikation großformatiger Nanostrukturen. Nach einer intensiven Erprobungs- und Optimierungsphase wurde die NPMM-200 kurz vor Jahresende dem Institut für Technische Optik übergeben.
Nach drei Jahren intensiver Forschungsarbeit haben Wissenschaftler der TU Ilmenau unter der Leitung von Prof. Eberhard Manske die Hochpräzisionsmaschine in einer aufwändigen Abnahmeprozedur der Universität Stuttgart übergeben. Am messtechnischen Limit stellte die NPMM-200 ihre einzigartigen Fähigkeiten hinsichtlich Präzision unter Beweis. Sie erreicht in einem Messbereich von 200 mal 200 mal 25 Millimeter eine Auflösung von 20 Pikometern, also von nur 20 Billionstel Metern. In ausgewählten Messungen wiesen die Ilmenauer Wissenschaftler gar Standardabweichungen von weniger als 80 Pikometer nach, was selbst bei Fachleuten der Physikalische-Technischen Bundesanstalt starke Beachtung fand.
Nach der erfolgreichen Abnahme der NPMM-200 können die Stuttgarter Wissenschaftler die hohe Wiederhol- und Positioniergenauigkeit der Präzisionsmess- und Positioniermaschine nun nutzen, um herausfordernde Forschungsprojekte anzugehen, etwa 3D-Messungen mit verschiedenen makroskopischen, mikroskopischen und nanoskopischen Sensoren oder die Sensorentwicklung für extrem hochauflösende Lithographie.
Den Auftrag zur Entwicklung der Maschine hatte das Institut für Prozessmess- und Sensortechnik von der Deutschen Forschungsgemeinschaft erhalten. Ziel der DFG-Großgeräteinitiative war es, deutschen Hochschulen diese neue Hochleistungstechnologie bereitzustellen, um steigende Anforderungen an Nanometerpräzision in allen Raumrichtungen auch bei größeren Arbeitsbereichen zu bedienen.
Prof. Eberhard Manske
Institut für Prozessmess- und Sensortechnik
Telefon: +49 3677 69-1250
E-Mail: eberhard.manske@tu-ilmenau.de
Foto: TU Ilmenau/Christian Meyer
None
Criteria of this press release:
Journalists
Mechanical engineering
transregional, national
Research projects, Transfer of Science or Research
German
You can combine search terms with and, or and/or not, e.g. Philo not logy.
You can use brackets to separate combinations from each other, e.g. (Philo not logy) or (Psycho and logy).
Coherent groups of words will be located as complete phrases if you put them into quotation marks, e.g. “Federal Republic of Germany”.
You can also use the advanced search without entering search terms. It will then follow the criteria you have selected (e.g. country or subject area).
If you have not selected any criteria in a given category, the entire category will be searched (e.g. all subject areas or all countries).
