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Das neue Hightech-Zentrum der Mercator-Universität Duisburg, das Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik ZHO, wird am kommenden Donnerstag, 25. März, durch Staatssekretär Dr. Wolfgang Lieb aus dem Ministerium für Schule und Weiterbildung, Wissenschaft und Forschung eingeweiht. Der Festakt wird live im Internet übertragen.
Das ZHO besteht aus zwei L-förmig angeordneten, dreigeschossigen Gebäudekomplexen, in denen 1.630 qm Labor- und Büroflächen untergebracht sind. Genutzt werden sie künftig von den Uni-Fachgebieten Halbleitertechnik und Optoelektronik. Beide Hightech-Abteilungen arbeiten an modernsten Halbleitermaterialien für winzige elektronische Bauelemente und ultraschnelle Schaltungen. Sie werden beipielsweise in der Kommunikationstechnik eingesetzt, bei der die Daten optisch und per Funk übertragen werden.
Das ZHO besitzt einen bautechnisch strikt getrennten 470 qm großen staubfreien "Reinraumbereich", der stündlich von etwa 232.000 m³ speziell gefilterter Umluft durchströmt wird. Sämtliche Anlagen im ZHO werden hundertprozentig emissionsfrei geführt. Diese besonders aufwendige Gebäudetechnik ist notwendig, um schnellste Schaltungen von Grund auf in einer zusammenhängenden Technologiekette entwickeln und herstellen zu können.
Presse-Vorabbesichtigung - Film- und Fototermin
Liebe Redaktion,
zur Pressevorabbesichtigung laden wir Sie und Ihre Fotografen herzlich in das neue Hightech-Zentrum ZHO ein am
Mittwoch, 24.3.1999, 11 Uhr
Uni-Bereich Lotharstr. 55, Gebäude LT (ZHO), Raum 227, Einchecken zur Besichtigung des Reinraum- und
Laborbereichs mit Film- und Fotografiermöglichkeiten
Ihre Gesprächspartner sind:
- Rektor Prof. Dr.-Ing. Ingo Wolff
- Dekan Prof. Dr. Dieter Jäger, Optoelektronik
- Prof. Dr. Franz-Josef Tegude, Halbleitertechnik
Mit freundlichen Grüßen
Beate H. Kostka
- Pressestelle -
Forschungsschwerpunkte und Anwendungen
- Elektronische und optoelektronische Bauelemente
- Entwicklung und Herstellung von Schaltungen
- Faser-Funk-Systeme
- Mikrowellen-Photonik
- Kommunikations- und Multimediatechnik
- Optische Sensortechnik
- Medizintechnik
- Intelligentes Auto
Technologieausstattung des ZHO im Überblick
Epitaxiesysteme zur Herstellung von Halbleitern in Atomlagenstärke
- Metall-Organische Gasphasenepitaxie (MOVPE)
- Molekularstrahlepitaxie (MBE)
Lithographieverfahren
- Elektronenstrahl-Lithographie: unter 0,1 Mikrometer
(1 Mikrometer = 1 tausendstel Millimeter)
- Optische Kontakt-Lithographie: etwa 0,5 Mikrometer
- Scanning-Laser-Lithographie: etwa 0,8 Mikrometer
Ätztechniken:
- Reaktives Ionenätzen (RIE)
- Sauerstoffplasma zur Reinigung
- Naßtechnische Ätztechnik
Beschichtungstechniken (u.a.):
- Metallisierungsanlagen
- Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
- Galvanisierungsbäder
Qualitätskontrolle:
- Hellfeld-/Dunkelfeld-Lichtmikroskopie
- Rasterelektronenmikroskopie (REM)
- Röntgendiffraktometrie
- Photolumineszenz
Materialbearbeitung (u.a.):
- Poliermaschinen
- Wafer-Säge
Aufbau- und Verbindungstechnik (u.a.):
- Glasfaserbearbeitung
- Herstellung von Faserlinsen
Meßtechniken zur Charakterisierung von elektronischen und
optoelektronischen Bauelementen, Schaltungen und Systemen
Einweihung des ZHO
Donnerstag, 25. März
Uni-Bereich Mülheimer Str./Ecke Lotharstr., Hörsaal MD 162
Programm
9.00 - 11.00 Uhr: Festakt
Begrüßung: - Rektor Prof. Dr.-Ing. Ingo Wolff
- Dekan Prof. Dr. Dieter Jäger
Grußworte: - Oberbürgermeisterin Bärbel Zieling
- Staatssekretär Dr. Wolfgang Lieb
Vortrag: ZHO: Woher - Wohin?
- Prof. Dr. Franz-Josef Tegude
- Prof. Dr. Dieter Jäger
anschließend: Führungen durch das ZHO
(Gebäude LT) mit Posterschau und
Exponaten aus der Industrie.
14.00 - 17.00 Uhr: Festkolloquium
Thema: Mikrowellenelektronik und Photonik
- Stand und Trends
Hörsaal MD 162
- III-V-Halbleiter - Faszinierende Materialien für viele Märkte
- Mikrowellenelektronik - Technik und Marktszenarien
- Photonische Netze - Datenautobahnen für jedermann
- Breitband-Faser-Funksysteme - Drahtlose Kommunikation
der Zukunft
anschließend: Führungen durch das ZHO
(Gebäude LT) mit Posterschau und
Exponaten aus der Industrie.
Tag der Offenen Tür
Freitag, 26. März, 10 - 16 Uhr
Wer sich für das neue Hightech-Labor an der Mercator-Universität Duisburg interessiert, sollte sich am kommenden Freitag, 26. März, Zeit nehmen. Zwischen 10 und 16 Uhr gibt es zu jeder vollen Stunde Laborführungen, Demonstrationen und Informationsgespräche.
Interessierte sind herzlich eingeladen.
http://www.uni-duisburg.de/zho
Criteria of this press release:
Electrical engineering, Energy, Information technology, Media and communication sciences
transregional, national
Miscellaneous scientific news/publications
German
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