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Nachrichten, Termine, Experten
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Die Fachhochschule Furtwangen führt 5-tägige Industrieseminare über "Prozesstechnologie der Mikroelektronik und Mikromechanik" durch. Den Teilnehmern wird ein Überblick über die Halbleiter-Prozesstechnologie in ihrer gesamten Breite vermittelt. Dazu wird in einer Vorlesungsreihe das theoretische Fundament gelegt, das in täglich einem 3-stündigen Praktikum in den Reinräumen der Fachhochschule vertieft wird. Die Ausstattung der Reinräume ermöglicht eine transparente Demonstration von grundlegenden Prozessschritten, an der sich die Kursteilnehmer aktiv beteiligen können.
ZIELGRUPPE
Personen, die in Entwurf oder Fertigung von Halbleiterstrukturen tätig sind oder die sich in die Mikrosystemtechnik einarbeiten möchten.
KURSINHALT
VORLESUNG:
Herstellungsverfahren mikroelektronischer und mikromechanischer Bauelemente
Beschichtungstechnik (PVD, CVD, Oxidation)
Dotierverfahren
Photolithografie
Ätztechnik
Aktuelle Entwicklungen (Lithografie, Materialien, Strukturierung)
PRAKTIKUM:
Beschichtungen
Strukturierungsverfahren
Charakterisierung
Fotolithografie
TERMINE: 23.10.-27.10.2000 oder 29.01.-2.2.2001
KURSLEITUNG: Prof. Dr. Ulrich Mescheder
KURSGEBÜHR: DM 2200
INFORMATIONEN bei Dr. Rolf Huster, Tel.: 07723 920 106, Fax: 07723 920 610, E-Mail: huster@fh-furtwangen.de
Criteria of this press release:
Electrical engineering, Energy, Mathematics, Physics / astronomy
transregional, national
Miscellaneous scientific news/publications, Studies and teaching
German
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