Mit Dünnschichtsensoren ausgestattete Siegelschienen (links). Weißlichtinterferometrische Aufnahme einer Messstelle mit Leiterbahnen von ca. 250 nm Dicke und ca. 600 µm Breite (rechts).
Quelle: Fraunhofer IWM
(563 KB, 1600 x 510 Punkte)
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