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Kontrollierte Erzeugung von Einzelphotonen-Emittern in Silizium mittels Breitstrahlimplantation von Ionen durch eine lithografische Maske sowie durch einen gerasterten fokussierten Ionenstrahl. Symbolisch dargestellt: die Abgabe zweier Einzelphotonen.
B. Schröder/HZDR
M. Hollenbach, B. Schröder/HZDR
(1842 KB, 2990 x 1993 Punkte)
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