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Bild zu: Improved quality control of SiC epiwafers by a new fast and contactless inline inspection tool


Example for spectral fingerprints of defects in 4H-SiC epiwafers: “panchromatic” image with full spectral range, band-pass filter in blue, green, red ranges (images from left to right, respectively)
Example for spectral fingerprints of defects in 4H-SiC epiwafers: “panchromatic” image with full spectral range, band-pass filter in blue, green, red ranges (images from left to right, respectively)

Quelle: Intego GmbH / Fraunhofer IISB

(614 KB, 1284 x 574 Punkte)

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