Im CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH wurden Si-Drucksensoren für Relativ- und Absolutdruckmessung von 10 mbar bis ca. 15 bar in verschiedenen anwendungsspezifischen Aufbauvarianten entwickelt. Diese werden auf der Hannover Messe 2004 vom 19.-24. April 2004 auf dem Gemeinschaftsstand "Microtechnology aus Thüringen" gezeigt.
Die Drucksensorchips werden wahlweise mit oder ohne Glasträger in Gehäuse wie TO-38, auf LTCC- oder Al2O3- Keramik montiert. Der Einsatz chemisch inerter, langzeitstabiler Fügehilfsstoffe ermöglicht u.a. Anwendungen in der Chemie und Pharmazie. Zur kostengünstigen Fertigung stehen eine 4"-Waferlinie, die entsprechenden Prozessschritte der Aufbau- und Verbindungstechnik sowie spezifische Mess- und Kalibriertechnik zur Verfügung.
Ausführliche Informationen:
Hannover Messe 2004 Halle 15/D 35 bzw.
Herr Dipl.-Phys.W Männel wmaennel@cismst.de
Ansprechpartner für die Presse:
Wolfram Männel
CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH
Konrad-Zuse-Str. 14
99099 Erfurt
Tel. (0361) 6631472
Fax (0361) 6631423
Merkmale dieser Pressemitteilung:
Elektrotechnik, Energie
überregional
Forschungsergebnisse
Deutsch
Sie können Suchbegriffe mit und, oder und / oder nicht verknüpfen, z. B. Philo nicht logie.
Verknüpfungen können Sie mit Klammern voneinander trennen, z. B. (Philo nicht logie) oder (Psycho und logie).
Zusammenhängende Worte werden als Wortgruppe gesucht, wenn Sie sie in Anführungsstriche setzen, z. B. „Bundesrepublik Deutschland“.
Die Erweiterte Suche können Sie auch nutzen, ohne Suchbegriffe einzugeben. Sie orientiert sich dann an den Kriterien, die Sie ausgewählt haben (z. B. nach dem Land oder dem Sachgebiet).
Haben Sie in einer Kategorie kein Kriterium ausgewählt, wird die gesamte Kategorie durchsucht (z.B. alle Sachgebiete oder alle Länder).