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24.05.2016 14:25

Neue Pulsed-Laser-Deposition-Anlage im Enscheder MESA+

Alf Buddenberg Press Relations Department
University of Twente

    Das Nanotechnologieinstitut MESA+ der University of Twente erwirbt eine neue Pulsed-Laser-Deposition-Anlage, die es erlaubt, in industriellen Größenordnungen zu arbeiten. Damit ergeben sich verbesserte Kooperationsmöglichkeiten mit Unternehmen. Neueste wissenschaftliche Erkenntnisse in den Bereichen unconventional electronics und advanced materials werden besser zugänglich und eröffnen neue Möglichkeiten für praktische Anwendungen.

    Enschede, Mai 2016. Das Forschungsinstitut MESA+ der University of Twente erwirbt eine neue Pulsed-Laser-Deposition-Anlage. Sie stammt vom Spin-off und Forschungspartner Solmates. Das Gerät ermöglicht es, neue Materialien und (Teile) für Computerchips zu entwickeln, indem es Atomschicht für Atomschicht aufbaut. Mit diesem „Neuzugang“ festigt MESA+ seine Position als anwendungsorientierter Partner für die Industrie. Das MESA+ NanoLab erfreut sich bereits bei vielen Unternehmen – auch aus Deutschland − großer Beliebtheit. Die Forscher im MESA+ werden, wie auch die zahlreichen externen Nutzer des NanoLabs, künftig dank der PLD-Anlage dazu in der Lage sein, in industriellen Größenordnungen zu arbeiten. Damit werden neueste wissenschaftliche Erkenntnisse in den Bereichen unconventional electronics und advanced materials besser zugänglich und eröffnen neue Möglichkeiten für praktische Anwendungen.

    MESA+ ist das Nanotechnologieinstitut der University of Twente und besitzt eine führende Position, wenn es darum geht, extrem dünne Schichten auf atomarer Ebene zu erschaffen. Dabei wird ein Material mittels eines Lasers in ein Plasma umgewandelt, das sich wiederum als dünne Schicht auf einem Untergrund niederschlägt. Indem verschiedene Lagen übereinander geschichtet werden, können neue Teile für Computerchips sowie vollständig neue Materialien geschaffen werden, die über bisher nicht gekannte Eigenschaften verfügen. Die Technik, mit der dies geschieht, wurde ebenfalls an der University of Twente entwickelt. Sie wird als Pulsed Laser Deposition (PLD) bezeichnet. Arjen Janssen, CEO beim Entwickler Solmates, erwartet, das sich PLD bis 2020 zu einem Standardproduktionssystem in der Chipherstellung entwickeln wird.

    Industrie im Blick
    Mit der Apparatur, die vorher im universitären Bereich vorhanden war, ließen sich nur vergleichsweise kleine Oberflächen (10 mal 10 Millimeter) bearbeiten. Die neue Maschine im MESA+ versetzt ihre Nutzer in Lage, viel größere Oberflächen zu beschichten. Forscher und externe Nutzer im MESA+ können nun, genauso wie im industriellen Bereich, wafers (Siliciumscheiben) mit einem Durchmesser von 20 Zentimetern gestalten. Forschungsergebnisse und neue Technologien aus dem Institut werden hierdurch direkt für den industriellen Bereich anwendbar. Zudem ist die neue Anlage um ein Vielfaches anwenderfreundlicher. Janneke Hoedemaekers, kaufmännische Geschäftsführerin von MESA+, spricht von einem wichtigen Schritt in Richtung Industrie: „Mit dieser Apparatur bekommen wir viele neue Möglichkeiten und machen den Schritt von der Laborebene auf ein industrielles Niveau. Damit wird die Zusammenarbeit mit der Industrie weiter gestärkt und es wird sichergestellt, dass unsere Technologie, unsere Prototypen und unser Wissen schneller angewendet werden können. Wir sind künftig in der Lage, komplexe Materialien, wie oxidische Materialien, mit Siliciumtechnologie zu kombinieren.“ Damit passe die neue Infrastruktur hervorragend zur Forschung des MESA+ in den Bereichen advanced materials sowie unconventional electronics: Elektronik, die auf komplett neuen Materialien basiert. Davon sollen insbesondere auch externe Nutzer profitieren. Dabei handelt es sich um kleine und mittelgroße Unternehmen mit Sitz in der deutsch-niederländischen Grenzregion, aber auch durchaus in einem größeren Radius.

    Solmates als Vorreiter
    Solmates hat die PLD-Anlage entwickelt und vertreibt sie. Das Unternehmen ist ein Spin-off aus der Universität Twente heraus. Es ist weltweit das einzige Unternehmen, das PLD-Anlagen fertigt, die für industrielle Anwendungen geeignet sind. Man arbeitet dort seit 2009 an dieser Technologie und ist im Besitz wichtiger Patente. Im Jahr 2013 wurde die erste PLD-Anlage verkauft. Kürzlich lieferte Solmates eine Maschine an das Interuniversity Microelectronics Centre (IMEC), das größte europäische Forschungszentrum für Nano- und Mikroelektronik mit Hauptsitz im belgischen Löwen. Der Kauf einer solchen Anlage durch die University of Twente wurde unter anderem mit Mitteln von NanoLab NL, der staatlichen Förderorganisation der Niederlande für die Nanotechnologie, ermöglicht.


    Bilder

    Solmates Pulsed Laser Deposition System
    Solmates Pulsed Laser Deposition System
    Quelle: University of Twente


    Merkmale dieser Pressemitteilung:
    Journalisten, Wirtschaftsvertreter, Wissenschaftler
    Elektrotechnik, Informationstechnik, Maschinenbau, Werkstoffwissenschaften, Wirtschaft
    überregional
    Forschungs- / Wissenstransfer, Kooperationen
    Deutsch


     

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