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Im CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH wurden Si-Drucksensoren für Relativ- und Absolutdruckmessung von 10 mbar bis ca. 15 bar in verschiedenen anwendungsspezifischen Aufbauvarianten entwickelt. Diese werden auf der Hannover Messe 2004 vom 19.-24. April 2004 auf dem Gemeinschaftsstand "Microtechnology aus Thüringen" gezeigt.
Die Drucksensorchips werden wahlweise mit oder ohne Glasträger in Gehäuse wie TO-38, auf LTCC- oder Al2O3- Keramik montiert. Der Einsatz chemisch inerter, langzeitstabiler Fügehilfsstoffe ermöglicht u.a. Anwendungen in der Chemie und Pharmazie. Zur kostengünstigen Fertigung stehen eine 4"-Waferlinie, die entsprechenden Prozessschritte der Aufbau- und Verbindungstechnik sowie spezifische Mess- und Kalibriertechnik zur Verfügung.
Ausführliche Informationen:
Hannover Messe 2004 Halle 15/D 35 bzw.
Herr Dipl.-Phys.W Männel wmaennel@cismst.de
Ansprechpartner für die Presse:
Wolfram Männel
CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH
Konrad-Zuse-Str. 14
99099 Erfurt
Tel. (0361) 6631472
Fax (0361) 6631423
Modulare Drucksensoren
Merkmale dieser Pressemitteilung:
Elektrotechnik, Energie
überregional
Forschungsergebnisse
Deutsch
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