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22.03.1999 18:22

ZHO: Neues Hightech-Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik

Beate Kostka M. A. Presse- und Informationsstelle, Standort Duisburg
Gerhard-Mercator-Universität Duisburg (bis 31.12.2002)

    Das neue Hightech-Zentrum der Mercator-Universität Duisburg, das Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik ZHO, wird am kommenden Donnerstag, 25. März, durch Staatssekretär Dr. Wolfgang Lieb aus dem Ministerium für Schule und Weiterbildung, Wissenschaft und Forschung eingeweiht. Der Festakt wird live im Internet übertragen.

    Das ZHO besteht aus zwei L-förmig angeordneten, dreigeschossigen Gebäudekomplexen, in denen 1.630 qm Labor- und Büroflächen untergebracht sind. Genutzt werden sie künftig von den Uni-Fachgebieten Halbleitertechnik und Optoelektronik. Beide Hightech-Abteilungen arbeiten an modernsten Halbleitermaterialien für winzige elektronische Bauelemente und ultraschnelle Schaltungen. Sie werden beipielsweise in der Kommunikationstechnik eingesetzt, bei der die Daten optisch und per Funk übertragen werden.

    Das ZHO besitzt einen bautechnisch strikt getrennten 470 qm großen staubfreien "Reinraumbereich", der stündlich von etwa 232.000 m³ speziell gefilterter Umluft durchströmt wird. Sämtliche Anlagen im ZHO werden hundertprozentig emissionsfrei geführt. Diese besonders aufwendige Gebäudetechnik ist notwendig, um schnellste Schaltungen von Grund auf in einer zusammenhängenden Technologiekette entwickeln und herstellen zu können.

    Presse-Vorabbesichtigung - Film- und Fototermin

    Liebe Redaktion,

    zur Pressevorabbesichtigung laden wir Sie und Ihre Fotografen herzlich in das neue Hightech-Zentrum ZHO ein am

    Mittwoch, 24.3.1999, 11 Uhr
    Uni-Bereich Lotharstr. 55, Gebäude LT (ZHO), Raum 227, Einchecken zur Besichtigung des Reinraum- und
    Laborbereichs mit Film- und Fotografiermöglichkeiten

    Ihre Gesprächspartner sind:

    - Rektor Prof. Dr.-Ing. Ingo Wolff
    - Dekan Prof. Dr. Dieter Jäger, Optoelektronik
    - Prof. Dr. Franz-Josef Tegude, Halbleitertechnik

    Mit freundlichen Grüßen

    Beate H. Kostka
    - Pressestelle -


    Forschungsschwerpunkte und Anwendungen

    - Elektronische und optoelektronische Bauelemente
    - Entwicklung und Herstellung von Schaltungen
    - Faser-Funk-Systeme
    - Mikrowellen-Photonik
    - Kommunikations- und Multimediatechnik
    - Optische Sensortechnik
    - Medizintechnik
    - Intelligentes Auto

    Technologieausstattung des ZHO im Überblick

    Epitaxiesysteme zur Herstellung von Halbleitern in Atomlagenstärke
    - Metall-Organische Gasphasenepitaxie (MOVPE)
    - Molekularstrahlepitaxie (MBE)

    Lithographieverfahren
    - Elektronenstrahl-Lithographie: unter 0,1 Mikrometer
    (1 Mikrometer = 1 tausendstel Millimeter)
    - Optische Kontakt-Lithographie: etwa 0,5 Mikrometer
    - Scanning-Laser-Lithographie: etwa 0,8 Mikrometer

    Ätztechniken:
    - Reaktives Ionenätzen (RIE)
    - Sauerstoffplasma zur Reinigung
    - Naßtechnische Ätztechnik

    Beschichtungstechniken (u.a.):
    - Metallisierungsanlagen
    - Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
    - Galvanisierungsbäder

    Qualitätskontrolle:
    - Hellfeld-/Dunkelfeld-Lichtmikroskopie
    - Rasterelektronenmikroskopie (REM)
    - Röntgendiffraktometrie
    - Photolumineszenz

    Materialbearbeitung (u.a.):
    - Poliermaschinen
    - Wafer-Säge

    Aufbau- und Verbindungstechnik (u.a.):
    - Glasfaserbearbeitung
    - Herstellung von Faserlinsen

    Meßtechniken zur Charakterisierung von elektronischen und
    optoelektronischen Bauelementen, Schaltungen und Systemen

    Einweihung des ZHO
    Donnerstag, 25. März
    Uni-Bereich Mülheimer Str./Ecke Lotharstr., Hörsaal MD 162

    Programm

    9.00 - 11.00 Uhr: Festakt

    Begrüßung: - Rektor Prof. Dr.-Ing. Ingo Wolff
    - Dekan Prof. Dr. Dieter Jäger

    Grußworte: - Oberbürgermeisterin Bärbel Zieling
    - Staatssekretär Dr. Wolfgang Lieb

    Vortrag: ZHO: Woher - Wohin?
    - Prof. Dr. Franz-Josef Tegude
    - Prof. Dr. Dieter Jäger

    anschließend: Führungen durch das ZHO
    (Gebäude LT) mit Posterschau und
    Exponaten aus der Industrie.

    14.00 - 17.00 Uhr: Festkolloquium
    Thema: Mikrowellenelektronik und Photonik
    - Stand und Trends
    Hörsaal MD 162

    - III-V-Halbleiter - Faszinierende Materialien für viele Märkte

    - Mikrowellenelektronik - Technik und Marktszenarien

    - Photonische Netze - Datenautobahnen für jedermann

    - Breitband-Faser-Funksysteme - Drahtlose Kommunikation
    der Zukunft

    anschließend: Führungen durch das ZHO
    (Gebäude LT) mit Posterschau und
    Exponaten aus der Industrie.

    Tag der Offenen Tür
    Freitag, 26. März, 10 - 16 Uhr

    Wer sich für das neue Hightech-Labor an der Mercator-Universität Duisburg interessiert, sollte sich am kommenden Freitag, 26. März, Zeit nehmen. Zwischen 10 und 16 Uhr gibt es zu jeder vollen Stunde Laborführungen, Demonstrationen und Informationsgespräche.
    Interessierte sind herzlich eingeladen.


    Weitere Informationen:

    http://www.uni-duisburg.de/zho


    Bilder

    Merkmale dieser Pressemitteilung:
    Elektrotechnik, Energie, Informationstechnik, Medien- und Kommunikationswissenschaften
    überregional
    Buntes aus der Wissenschaft
    Deutsch


     

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