idw – Informationsdienst Wissenschaft

Nachrichten, Termine, Experten

Grafik: idw-Logo
idw-Abo

idw-News App:

AppStore

Google Play Store

Bild zu: Technik mit Zukunft: Das NMI Reutlingen auf der Hannover Messe


a) Nanopartikellithographie zur Herstellung poröser Sensorelektroden: Nach Abscheidung einer Metallisierungs- und einer Isolatorschicht werden Mikro- oder Nanopartikel aufgebracht, die im zweiten Metallisierungsschritt als Schattenmasken dienen. Danach werden sie entfernt und mittels Plasmaätzen Poren in die Isolationsschicht eingebracht. b) Wafer mit Sensorchips. c) einzelner Sensorspot. d) REM Aufnahme einer Querschnittspräparation des Schichtsystems mit Poren.
a) Nanopartikellithographie zur Herstellung poröser Sensorelektroden: Nach Abscheidung einer Metallisierungs- und einer Isolatorschicht werden Mikro- oder Nanopartikel aufgebracht, die im zweiten Metallisierungsschritt als Schattenmasken dienen. Danach werden sie entfernt und mittels Plasmaätzen Poren in die Isolationsschicht eingebracht. b) Wafer mit Sensorchips. c) einzelner Sensorspot. d) REM Aufnahme einer Querschnittspräparation des Schichtsystems mit Poren.

Quelle: NMI

(102 KB, 600 x 467 Punkte)

Hinweis zur Verwendung von Bildmaterial: Die Verwendung des Bildmaterials zur Pressemitteilung ist bei Nennung der Quelle vergütungsfrei gestattet. Das Bildmaterial darf nur in Zusammenhang mit dem Inhalt dieser Pressemitteilung verwendet werden. Falls Sie das Bild in höherer Auflösung benötigen oder Rückfragen zur Weiterverwendung haben, wenden Sie sich bitte direkt an die Pressestelle, die es veröffentlicht hat.

Hilfe

Die Suche / Erweiterte Suche im idw-Archiv
Verknüpfungen

Sie können Suchbegriffe mit und, oder und / oder nicht verknüpfen, z. B. Philo nicht logie.

Klammern

Verknüpfungen können Sie mit Klammern voneinander trennen, z. B. (Philo nicht logie) oder (Psycho und logie).

Wortgruppen

Zusammenhängende Worte werden als Wortgruppe gesucht, wenn Sie sie in Anführungsstriche setzen, z. B. „Bundesrepublik Deutschland“.

Auswahlkriterien

Die Erweiterte Suche können Sie auch nutzen, ohne Suchbegriffe einzugeben. Sie orientiert sich dann an den Kriterien, die Sie ausgewählt haben (z. B. nach dem Land oder dem Sachgebiet).

Haben Sie in einer Kategorie kein Kriterium ausgewählt, wird die gesamte Kategorie durchsucht (z.B. alle Sachgebiete oder alle Länder).