idw – Informationsdienst Wissenschaft
Nachrichten, Termine, Experten
Nachrichten, Termine, Experten
idw - Informationsdienst
Wissenschaft
Kolloquium an der FH Jena
Morgen findet um 17.00 Uhr in der Fachhochschule Jena ein Kolloquium der IG "Elektrische Antriebe und Aktoren" zum Thema "Positioniersysteme für die Elektronenstrahllithographie" statt.
Referent Gerhard Schubert, Dipl. Physiker von der Vistec Electron Beam GmbH, hat langjährige Erfahrungen auf den Gebieten der Positioniersysteme und der Vakuumtechnik. Er kann auf mehrere Patente verweisen.
Die Vistec Electron Beam GmbH ist ein Jenaer Unternehmen, das Elektronenstrahl - Lithographiegeräte für die Hersteller mikroelektronischer Schaltungen auf der ganzen Welt fertigt. Die Positioniersysteme spielen in diesen Systemen eine wichtige Rolle. Sie müssen sehr hohe Genauigkeiten im Nanometerbereich erreichen. Erschwerend kommt hinzu, dass die Positioniersysteme im Vakuum arbeiten müssen und keine Magnetfelder die Abbildung mit dem Elektronenstrahl stören dürfen.
Kolloquium "Positioniersysteme für die Elektronenstrahllithographie"
Mittwoch, 3. Mai 2006
17.00 Uhr
FH Jena, Haus 5, Etage 3, Hörsaal 5
Kontakt: Prof. Dr. Peter Dittrich
peter.dittrich@fh-jena.de
Sigrid Neef
Merkmale dieser Pressemitteilung:
Elektrotechnik, Energie
regional
Buntes aus der Wissenschaft, Forschungs- / Wissenstransfer
Deutsch
Sie können Suchbegriffe mit und, oder und / oder nicht verknüpfen, z. B. Philo nicht logie.
Verknüpfungen können Sie mit Klammern voneinander trennen, z. B. (Philo nicht logie) oder (Psycho und logie).
Zusammenhängende Worte werden als Wortgruppe gesucht, wenn Sie sie in Anführungsstriche setzen, z. B. „Bundesrepublik Deutschland“.
Die Erweiterte Suche können Sie auch nutzen, ohne Suchbegriffe einzugeben. Sie orientiert sich dann an den Kriterien, die Sie ausgewählt haben (z. B. nach dem Land oder dem Sachgebiet).
Haben Sie in einer Kategorie kein Kriterium ausgewählt, wird die gesamte Kategorie durchsucht (z.B. alle Sachgebiete oder alle Länder).
